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テルモセラ・ジャパン株式会社

住所東京都中央区日本橋3-2-14 　新槇町ビル別館第一 2階
電話03-6214-3033
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◉ nanoETCH ソフトエッチング装置 ◉ nanoETCH ソフトエッチング装置
□■□MiniLabシリーズ実験装置□■□ □■□MiniLabシリーズ実験装置□■□
◉ 【MiniLab-026】小型真空蒸着装置 ◉ 【MiniLab-026】小型真空蒸着装置
◉ 【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置 ◉ 【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置
◉ 【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置 ◉ 【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置
◉ 【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置 ◉ 【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
□■□薄膜実験装置（コンパクトタイプ）□■□ □■□薄膜実験装置（コンパクトタイプ）□■□
◉ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置 ◉ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置
◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置 ◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置 ◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置
◉ nanoCVD-8G/8N グラフェン/CNT合成装置 ◉ nanoCVD-8G/8N グラフェン/CNT合成装置
◉ Nanofurnace "BWS-NANO" 熱CVD装置 ◉ Nanofurnace "BWS-NANO" 熱CVD装置
◇◆成膜コンポーネント◆◇ ◇◆成膜コンポーネント◆◇
□■□超高温小型実験炉シリーズ□■□ □■□超高温小型実験炉シリーズ□■□
◉ Mini-BENCH超高温小型卓上実験炉 Max2200℃ ◉ Mini-BENCH超高温小型卓上実験炉 Max2200℃
◉ TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃ ◉ TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃
● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃ ● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃
◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆ ◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆
□■□基板加熱ヒーター□■□ □■□基板加熱ヒーター□■□
◉ BHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1600℃ ◉ BHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1600℃
◉ SHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1100℃ ◉ SHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1100℃
◉ ホットステージ「基板加熱機構」Max 1800℃ ◉ ホットステージ「基板加熱機構」Max 1800℃
◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃ ◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
□■□温度センサー□■□ □■□温度センサー□■□
□■□赤外線温度計測機器□■□ □■□赤外線温度計測機器□■□
◉ 小型・高精度赤外線放射温度センサー ◉ 小型・高精度赤外線放射温度センサー
◉ USB接続式・放射率可変 高温用赤外線放射温度センサー ◉ USB接続式・放射率可変 高温用赤外線放射温度センサー
◉ 本質安全防爆型赤外線放射温度センサー ◉ 本質安全防爆型赤外線放射温度センサー
◉ スマートホン設定式赤外線放射温度センサー ◉ スマートホン設定式赤外線放射温度センサー
□■□基板加熱ヒーター□■□

□■□基板加熱ヒーター□■□

基板加熱ヒーターは、フロントプレート材質に「窒化アルミ」「ボロンナイトライド」「インコネル」「石英」などから選択ができ、更に搭載するヒーターエレメントもNiCr, Kanthal, Graphite, CCコンポジット, 及び各種コーティング品など豊富に用意。 プロセス雰囲気に合わせてハウジング、電極構造、冷却構造などを自在にカスタマイズした基板加熱ユニットをご提案します。 超高温焼成・加熱効率・均熱性・温度再現性に優れた基板加熱ヒーターユニットです。 半導体製造装置、CVD、PVD（蒸着、スパッタ、PLD、ALD）、高温亜ニール装置などあらゆる装置構成に対応が可能です。