微量汚染物のTOF-SIMS分析
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です!
再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。 同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を 行いました。 TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物(CH,CN)、 Na、K、が検出されました。 ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と 思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が 付着していることがわかりました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社アイテス
- 価格:応相談