介在物フリーと大型対応を両立し、Si部材の加工・プロセス課題を解決
「大型・複雑形状に対応したい。その上、加工時のチッピング・割れを減らしたい。」 そんな半導体装置部材の設計・製造でお困りではありませんか？ 当社の柱状晶シリコンは、介在物フリー、高強度、ユニークな結晶構造を特長とする材料です。 単結晶Si同等の加工性とプラズマエッチング特性を有し、加工不良や材料起因のトラブル低減に貢献します。 また、丸型最大φ700mm、角型最大□1200mmまで対応し、大型・複雑形状部材の設計自由度向上を支援します。 さらに、6Nupの純度、介在物フリーにより、異常放電やパーティクル、金属汚染リスクの低減が期待できます。 これにより、加工歩留まり向上、装置稼働率向上、メンテナンス負荷低減に貢献します。 プラズマエッチング装置の各種シリコンパーツ、リテーナリング、サセプタ、搬送ハンドなどの部材開発をサポートします。 詳細は、三菱マテリアル公式サイトをご確認いただき、お問い合わせフォームよりご相談ください。
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基本情報
○ 介在物フリーにより加工欠陥・異常放電リスクの低減に貢献 ○ 単結晶Si同等の加工性・プラズマエッチング特性を実現 ○ 高強度かつ良好な熱特性 ○ 丸型最大φ700mm、角型最大□1,200mmまで対応可能 ○ スライス・研削・ラッピング・ポリッシュ・エッチング加工に対応 ○ Sグレードは6N以上7N未満の高純度仕様 ○ 指定寸法・指定形状への加工対応が可能
価格情報
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納期
※数量によって納期は変動しますので、三菱マテリアル公式サイトからお問い合わせください。
用途／実績例
■プラズマエッチング装置用部材 ・異常放電による装置停止リスクの低減 ・品質安定化に貢献 ・プロセス安定性を向上 ・加工不良低減による歩留まり向上 ・部材寿命向上に貢献 ・既存設備・既存プロセスの活用による導入負荷低減 ■サセプター・均熱板、スパッタリングターゲット材料等 ・大型部材の設計自由度向上 ・調達選択肢拡大 ・新規装置向け提案力向上
詳細情報
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●介在物フリー
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●介在物比較データ
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●高強度・均一結晶粒構造（曲げ強度）
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●大型サイズまで対応
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●導入によるメリット ・加工不良低減 ・異常放電低減 ・設計自由度向上
企業情報
高機能製品事業部では、低アルファ線はんだ、フォトレジスト用反射防止材などの半導体関連部材をはじめ、精密実装材料の高機能・高品質製品をグローバル市場に向けて製造・販売しています。 また、環境技術分野においては、次世代社会の実現に向けて独創性と実用性を兼ね備えた製品開発を推進しています。自動車・建築分野向けの熱線カット塗料、電動車（xEV）の高性能化・安全性向上に貢献する温度センサ、社会インフラの信頼性向上を支える雷害対策部品などを展開しています。さらに、高耐熱性・低抵抗性・高熱伝導性を実現した実装材料は国内外で高い評価を獲得しており、今後の成長を牽引する製品群として期待されています。
