次世代の流量制御ソリューション
MFA (Mass Flow Amplifier) システム MFAシステムは、半導体やディスプレイ製造工程における排気配管の詰まり問題を根本から解決する次世代の流量制御ソリューションです 。 従来のHot N₂（加熱窒素）注入方式とは異なり、「コアンダ効果」と「渦流（スワール流）技術」を組み合わせることで、配管内部に安定した気流の層を形成します 。 これにより、副生成物（パウダー）が配管壁面に付着するのを防ぎ、排気効率を劇的に向上させます 。 1. メンテナンス周期を劇的に延長し、生産性を最大化 2. 革新的な「渦流設計」でパウダー蓄積を防止 3. 優れた省エネ性能とコストパフォーマンス 4. 既存ラインへの容易な横展開と高い信頼性 ～技術的特長～ コアンダ効果と渦流（Swirl Flow）: 注入ガスの回転により渦状の気流を形成し、配管内壁に保護層を作ることで、副生成物の付着を抑制します 。 流速分布の均一化: 既存のHot N₂方式に比べ、配管内の圧力と流速を均一に保つことで、粉末の蓄積を最小限に抑えます。
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基本情報
MFAシステムは、コントローラーとモジュール（CFTシリーズ）で構成されています。 【基本仕様】 製品名: Mass Flow Amplifier (MFA) 主要構成: コントローラー（CS-1000シリーズ）、モジュール（CFT-40 / CFT-50） 入力電源: 210-230 VAC ±10% (50/60 Hz) 温度制御: Hot N₂（0～250℃、最大300℃）、Pad Heater（0～200℃、最大230℃） N₂流量: 標準最大 100 LPM（オプションで最大 500 LPMまで拡張可能） 通信/インターフェース: RS-485 (Modbus RTU)、RJ45、D-Sub 9 Pin 安全・保護機能:N₂低圧インターロック（< 0.25 MPa）、過昇温防止（バイメタル、温度ヒューズ）、低流量アラーム 外部EMO（非常停止）対応 認証: NRTL認証（コントローラー）、UL 61010-1、SEMI S2 / S8準拠 ※詳しくは、ご相談ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
顧客 / 工程 ■S社 / Metal Etch 導入前の課題）ノズル詰まりが頻発（PM周期 7日） 導入後の効果 ）1年以上PMなしで稼働、量産適用・横展開へ ■S社 / Oxide Etch 導入前の課題）配管詰まり（PM周期 4週） 導入後の効果 ）6ヶ月以上配管を使用可能に ■O社 / CVD, Etch 導入前の課題）消音器・トラップの頻繁な交換（PM 1～2週） 導入後の効果 ）消音器交換不要、スクラバー入口のPM不要に
企業情報
購買部、資材部や調達部ご担当者と、ものづくり現場の要望。 欲しいものと、準備した用意した物のギャップ。 商品価格や品質のギャップ。 求める人と求めるモノ、売りたい人と買いたい人。 マッチングが私たちサム・コーポレーションの使命です。 「オーダーメイドは、高い。」 「海外輸入品は、高くつく。」 こんなイメージをお持ちの企業担当者の方。是非、一度ご相談ください。 国内外で価格、品質、納期の最善をご提案いたします。 国内外の大手メーカー様から小規模事業者様まで、 お取引させていただいております。 取扱い品目は多岐にわたっているのも、ご要望に応え続けてきた証。 また、海外への販路を模索されている企業の方、 生産性向上に向けての商品をお探しの企業の方から、数多くお問い合わせいただいております。 当社は、"お客様”と"ものづくり”の現場の架け橋になるべく、様々なご相談を承っております。 韓国製品を含め、その他海外製品を幅広く取扱っており、 日本企業の韓国販路開拓、韓国企業との技術協力、委託加工など実績があります。 些細なことでも結構ですので、ぜひお気軽にご相談ください。
