電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノイン・プリントリソグラフィー向け粉体のレジスト
AQM社のH-SiOxは粉体の状態で長期保管可能で、 使う前に溶媒と混合して使用可能なネガ型レジストです。 既に溶媒に混合されたプレミックスタイプと比較すると、増粘することが無いので常に同じ膜厚を形成でき、 さらに粘度調整が可能なので、様々な膜厚を作成できます。 また、シェルフライフ（保管期間）が1年間と長いので、廃棄する無駄が少なく経済的なレジストです。 最近のテストでは7nmの線幅を実現しました。 【特徴】 ・長期間の保管が可能（1年間） ・いつでも同じ粘土で使用可能・・・使用前に溶媒と混合して使用するので増粘しません。 ・粘土を調整することで幅広い範囲の厚さの膜を作成可能 ・5nmの膜厚、7nmの解像度 ・廃棄量の削減・・・少量単位での購入可能です。 ・充実したサポート体制 ・優れたLER（Line Edge Roughness） ・ドライエッチングに対する強い耐性 詳しくはカタログをご覧いただくか、 弊社担当 北野までご連絡ください。
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基本情報
【特徴】 ・長期間の保管が可能（1年間） ・いつでも同じ粘土で使用可能・・・使用前に溶媒と混合して使用するので増粘しません。 ・粘土を調整することで幅広い範囲の厚さの膜を作成可能 ・5nmの膜厚、7nmの解像度 ・廃棄量の削減・・・少量単位での購入可能です。 ・充実したサポート体制 ・優れたLER（Line Edge Roughness） ・ドライエッチングに対する強い耐性
価格帯
納期
用途／実績例
電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノイン・プリントリソグラフィー向け
企業情報
オプトシリウスは、分光器や測定器関連製品、光部品の輸入販売する技術商社です。 主要取扱製品は、世界最大級のシェアを誇るオーシャンオプティクス社製小型分光器です。 その他、高輝度LED製品、小型ラマン測定器、マルチスペクトルセンサ/マルチスペクトルカメラや、小型で高速データ所得可能な色彩輝度計、マルチモード光ファイバ対応のスイッチ、量子ドットなどの材料、赤外ディテクタなどの光部品を扱っております。 当社が正規輸入代理店として取り扱っているメーカー一覧、および 各メーカー製品の詳細情報は弊社HPからご覧頂けます。
