微小プローブによる高分解能でのイメージング！ナノレベルの構造解析を実現いたします
当社では、試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの 構造解析を実現いたします。 「形状測定（タッピングモード）」では、周期的に振動させた プローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測。 また、「位相イメージング」は、カンチレバーを動かす周期信号と カンチレバーの振動との間の位相遅れをマッピングし、形状には 現れない物性の違いを可視化します。 【特長】 ■微小プローブによる高分解能でのイメージング ■導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能 ■微小な触圧によりほぼ非破壊で測定できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【適用例】 ■ウエハ、ガラス、基板等の表面粗さ評価 ■MEMS、ナノインプリント等の形状評価 ■フィルム等の物性評価（位相イメージング） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
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企業情報
アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として１９９３年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。
