精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC
『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の装置紹介】 [ブロンコスト製 充填装置] ■コリオリの精度を利用し、ポンプの回転数を制御、質量流量にて投入できる装置 ■ポンプの弱点である、容積式の誤差をコリオリ式にて質量で補正 ■精密な充填（連続充填）が可能に ■電子天秤などで質量の確認が不要 [その他装置] ■コリオリ式マスフローメータとコントロールバルブ、 コリオリ式マスフローメータとシャットオフバルブを 組み合わせた充填システムもご用意 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
1981年以来ブロンコスト・ハイテック( Bronkhorst High-Tech B.V. )は、サーマルとコリオリ式マスフローメータ/コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR＆D分野、種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただけています。