高分解能フーリエ変換赤外分光装置 nano-FTIR

基本情報

【仕様】 ○スキャンエリア：100×100μm（クローズドループ） ○サンプルステージ ・モータ駆動：最大移動幅　X＝60mm、Y=15mm、Z=6mm （AFMヘッド側　X=30mm、Y=3mm、Z=4mm） ○ノイズレベル：＜0.2nm　RMS（1.5 - 150Hz） ○光学顕微鏡 ・水平分解能0.8μｍ、視野角0.7mm ・長作動距離対物レンズ（WD＝20mm） ○CCDカメラ：5Mpix　ハイスピード・デジタルイメージング ○励起波長 ・可視、赤外およびテラヘルツまで（400nm～200µm） ※専用ブロードバンド光源により中赤外領域のナノスペクトロスコピー可能 ●詳しくはお問い合わせください。

価格帯

納期

用途／実績例

【用途】 ○フーリエ変換赤外分光装置として →イメージング＆分光測定が可能 ●詳しくはお問い合わせください。

詳細情報

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  PMMA/PS 高分子ブレンド PMMA構造に着目した、波数1740cm-1 によるイメージング。反射および位相ともにAFM像と同時取得されている。SN比良く測定され、細かい構造まで組成情報を可視化できている

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  有機系異物 PMMA母材に付着した主成分をPDMSとする異物を母材の影響なく、高空間分解能で指紋領域スペクトルを取得。また、同一サンプルでPMMA/シリコン界面を横断するようにラインスペクトルマッピング（20nmステップ30点）を行った際、界面近傍ではPMMA由来のピークが１ステップで消失しており、波数固定のイメージングだけでなく、分光においても高い空間分解能が確認されている

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  SiC上欠陥 化合物半導体SiCにおいて、圧痕周辺にAFM像には見られない内在する欠陥を高分解能に可視化

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  CVDグラフェン膜 走査プラズモン干渉法によるCVDグラフェン粒界における電気的・プラズモニックな現象を可視化。AFMによる凹凸像では明確ではない粒界もプラズモンの散乱による定在波のため明瞭に存在を示している。

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  有機半導体(ペンタセン)結晶相 SiO/Si上に熱堆積法により約40nm厚のペンタセン膜を成膜、表面凹凸像からテラスを確認 (直径約3mm、高さ約1.5nm)。近接場分光により、XRDなどで確かめられている各結晶相の同定が可能。約1um 離れている2点間のスペクトルを分離して測定。僅か数cm-1の差も検出可能。ナノスケールドメイン構造により、ペンタセンのマクロスケールの伝導特性が決まるため、結晶相の把握は重要。