フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能
高計数効率0 0.1μm フォトレジスト溶液やSOG中の粒子数測定に 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制!
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。