フォアラインとテストポートの真空引きポンプを独立して搭載！高い試験処理速度と広い計測範囲が特徴のヘリウムリークディテクター
MS-50GT 全自動コンソール型ヘリウムリークディテクターは、試験工程の視認を容易とするGUI タッチパネルモニターと、フォア用、テストポート用を担当するロータリー真空ポンプを独立して搭載し、素早い試験処理能力と単独でのグロス～ファインリークまでの広範囲ヘリウムリークテストを可能としたヘリウムリークディテクターとなります。 ■製品用途例 1：ご使用真空設備の漏れ箇所調査用設備として 2：半導体製品への漏れ試験（リーク試験）装置として 3：高い気密性を要する航空機部品の気密性確認試験装置として 4：防水機能、気密性を必要とする自動車部品への漏れ試験装置として 5：食品用包装材（アルミパウチ等）の気密性確認試験の検査装置として 6：その他ヘリウムガス検知を必要とする用途に対応可 7：試験スピードの速さが求められる試験工程に対し、大きな効果を発揮致します ■MS-50GT が対応可能なヘリウムガスリーク試験種の一例をご紹介しています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
○最高感度：3.0×10^-12 Pa m3/sec ○広範な測定範囲：1.0×10^-1 ~ 3.0×10^-12 Pa m3/sec ○大型GUI タッチパネルによる画面表示 ○粗引き用、フォア用に独立した真空ロータリーポンプ搭載、高速試験と広い測定レンジを実現 ○ボンビング法、真空法、オプションプローブによるスニッファ法試験対応 ○180°磁場偏向型質量分析管を搭載し、安定した精度の高い試験を実現 ○試験はスイッチ一つで終了まで全自動 ○装置の自己診断、検知感度矯正、装置校正はスイッチ一つの簡単操作 ○装置内蔵標準リークは、N.I.S.T（米国立標準技術研究所）トレーサビリティとISO17025を取得
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
MS50GTはそのユニークな装置性能から幅広い用途に対応可能となりますが、主に半導体(完全密封製品 他)、水晶振動子、電子製品等の早い試験処理速度(試験タクトタイム)が求められる現場に適用されております。
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企業情報
弊社では、米国のリーク試験装置メーカーである「Vacuum Instrument Corporation（VIC）」、及び米国の真空コンポーネントメーカーである「Vacuum Research Corporation（VRC）」両社の日本国内総代理店を勤めさせて頂いております。また、VIC社製品を使用したヘリウムリーク試験システム、エアリーク試験装置の製作、リーク試験のみを行うリーク試験受託サービスも展開させて頂いております。 日本国内のVIC社製ヘリウムリークディテクターのメンテナンス・修理サービスに関しましても、専任のメンテナンスマンを配置しておりますので、弊社にて承らせて頂いております。