150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現
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基本情報
150℃/200℃対応！ バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フルスケールレンジ：133×10E-2Pa ●最大フルスケールレンジ：133×10E5Pa ●精度：読み値の0.50％ ●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力（最大1.0A) ●外部から調整可能なリレー機能内蔵（オプション）
価格情報
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納期
用途／実績例
・厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途 ・バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセス など
企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。