190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡
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基本情報
主な特長 1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています｡ 2.基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています｡ 3.マスクとウエハの平行出しは､補正機能板で露光ごとに可能です｡ 4.レシピにより登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする､画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています｡ 5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています｡ 6.露光方式は､ソフトコンタクト､プロキシミティ､ハードコンタクト(真空密着)から選択できます｡ 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます｡ 8.顕微鏡のハロゲン照明は､画像処理により､つねに最適な明るさで保たれるとともに､低コントラストマークに対応します｡ 9.トラブルのエラーメッセージを操作パネルに表示します｡
価格情報
オープン
納期
用途／実績例
エレクトロニクス分野 ●マイクロデバイス －半導体､各種デバイス､センサ(ウェハ､ガラス基板などのフォトリソ工程)など ●LED
詳細情報
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製品の主な特長 基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現
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企業情報
半世紀以上にわたる歴史のなかで､磨きつづけてきた技術力と製品力｡ これらにウシオ独自の提案力を融合させ､ 次代を切り拓くソリューションとして社会と市場に提供します｡ 今後さらなる進化が期待される光と産業のビジネスドメインで､ 私たちは､持てるすべての力を最大限に発揮し､ お客さまと社会の発展に貢献します｡
