高いレベルの製品で半導体製造で要求される様々な特性に対応します。
半導体関連製品「精密加工品/角槽など」は、半導体製造装置の中での使用に対応するためミクロンレベルの超精密加工を行った部品や半導体製造装置で使用される高純度薬液の貯蔵や混合に適したシングル槽、半導体製造装置内でのオーバーフロー洗浄用に適したダブル槽があります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【精密加工品】 ○PFA、PTFE、PCTFE、PEEKなどでの対応が可能 ○種類： ベローズ、ウエハガイド、ウエハチャック、チャンバー、バルブボディ 【角槽】 ○一体成形槽から溶接構造槽まで製作 ○種類： PTFEシングル槽（YSタイプ）、PTFEダブル槽（YWタイプ）、 PFAシングル槽 【薬液秤量タンク】 ○超薄角型のタンク形状も生産が可能なので、半導体製造装置の省スペース化を実現 ○種類： PFA秤量タンク（MSタイプ、MCタイプ）、PFA廃液タンク（DCタイプ） ETFE保護タンク（CSタイプ） 【カルレッツ】 ○従来のふっ素ゴムでは難しかったエーテル類、アミン類、ケトン類、有機溶剤、酸、アルカリなどほとんどの薬液に対して安定した物性 ○種類： 4079、6375、1050LF、2035、3018、4001、8101、 8375、2037、8201、8385 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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