インライン型膜厚計の分析例について紹介します。
膜厚の管理は製品の信頼性を左右するだけでなく原材料の削減にも貢献します。可搬型蛍光X線分析装置「OURSTEX100FA」は工場の製造工程で膜厚の分析を行うことが可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、 ○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで 補正が可能であることがわかりました。 ○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と 高感度で得られました。 ○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で 測定することが可能でした。 ○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。 ○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
アワーズテック株式会社はエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の専門メーカーです。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は非破壊で迅速に現場での元素分析が可能です。現在土壌汚染調査、RoHS指令対応分析、コンクリートの塩害調査、インライン分析、考古学・文化財分析などあらゆる分野で活用しています。 当社はこの技術に特化し、Ｘ線要素技術を駆使した小型・軽量・高性能な装置造りに専念しております。また、お客様のニーズをお聞きし、ニーズに応じた製品をお客様と一緒に創造します。 <当社のエネルギー分散型蛍光X線分析装置の特徴> ■液体窒素が不要である。 ■測定時間が従来品に比し短い。 ■半導体検出器ＳＤＤの採用により高分解能、高計数率を実現。 ■液体、固体、ゾル、ゲルなどすべて非破壊で測定できる。 ■設置が容易である。(ＡＣ１００Ｖ-５Ａの電源のみ） ■装置がコンパクトである。 ・特別仕様の製品に関してもご相談に応じます。 ・「誠心・誠意」をモットーにしていますのでお気軽にご連絡ください。
