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  4. ★【マグネトロンスパッタリングカソード】★ テルモセラ・ジャパン
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2024/10/15

★【マグネトロンスパッタリングカソード】★ テルモセラ・ジャパン

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。 【特徴】 ・高真空対応 ・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ ・クランプリング式を採用、ボンディングが不要 ・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能 ・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富 ・各種フランジサイズ接続に対応 【主仕様】 ■RF, DC, パルスDC対応 ■ターゲット厚さ:1/16"〜1/4" ■N型同軸コネクター接続 ■水冷式:4ℓ/min, 0.35Mpa Φ6mmチューブ接続 ■ケース材質:SUS304 ■ターゲットクランプ材質:Al, or SUS304 ■ベローズ(*Flexi-headタイプ)材質:SUS316 ■絶縁材:PEEK/PTFE ■シール材:Viton ■高強度マグネットパック:NiFe
MAG seriesマグネトロンスパッタリングカソード
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マグネトロンカソード MAGシリーズ
RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード

関連製品

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【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

  • その他計測器

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【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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284_「順番」が印象を左右する!?『系列位置効果』

【株式会社SBSマーケティング】「順番」が印象を左右する!?『系列位置効果』

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支援会社と事業会社での実務経験をベースに、主にBtoB(企業間取引)分野のマーケティングや販売促進、集客に関連したコンサルティングサービスを提供している株式会社SBSマーケティングは「「順番」が印象を左右する!?『系列位置効果』」ページを2025年08月21日(木)に公開しました。 複数の情報を順番に提示された際、中間の情報は記憶に残りにくく、「最初」と「最後」の情報が記憶に定着しやすくなる『系列位置効果』。立証することになった実験内容や、理論づける2つの効果、ビジネスシーンにおける発生例と活用する際の注意点などについて解説しています。 (ページの概要:抜粋) ■『系列位置効果』とは? ■『系列位置効果』を明らかにした実験 ■『系列位置効果』を理論づける「2つの効果」 ■ビジネスシーンにおける『系列位置効果』の発生例 ■『系列位置効果』の注意点(DLコンテンツのみ) ▼詳しくはこちらのページをご覧ください。 https://sbsmarketing.co.jp/blog/serial-position-effect-2025-08/

2025年08月23日

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サイバーリンク、AI 顔認証セキュリティシステム FaceMe Security の新バージョン 8.3 をリリース、UXを刷新し設定を効率化、顔認証端末との連携強化でより複雑なドア制御が可能に

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FaceMe Security 8.3のアップデート詳細 < アクション&アラートルール設定のUXを刷新 > 従来は、同じルールでもアクションごとに個別設定が必要でしたが、UI・UXを全面的に見直すことで、設定作業を直感的かつ効率的に行える操作画面へ刷新しました。 ▶ アップデートのポイント ・1つのルールで複数のアクション(通知・アクセス制御・VMS連携など)の設定が可能 ・設定画面を1ページ構成にし、全体を一目で確認・編集することが可能 < Face Terminal(顔認証端末)との連携機能を強化 > FaceMe Securityは、MSK Knoctoiシリーズ(Standard/Lite)と連携し、追加機器を使用せずに顔認証結果からドアの開閉を実現します。今回のアップデートでは、場所、時間帯、人物グループなどドア開閉ルールを細かく設定できるようになり、現場の運用に合わせより柔軟な入退室管理が可能となりました。 ▶想定導入シーン ・エントランスは全社員が入室可、特定エリアの夜間は管理者のみ入室可など

2025年08月22日

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ホトロングループの事例ページ

【事例紹介】ホトロンはセンサー技術を追求し、 安全で快適な生活空間を生み出す製品を創っています。 街のいたるところで人々の暮らしをサポートする ホトロン製品をご紹介します。

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半世紀以上の経験で培ったセンサー技術のホトロングループの製品の導入実績を、お客様の事例を通してご紹介します。 自動ドアセンサーをはじめ、車両検知センサーや看護・介護センサーも充実しております。 導入例も多数紹介しておりますので、ぜひ、事例案内ページを御覧ください。

2025年08月22日

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センサーが車を検知すると、回転灯がまわります

駐車場、店舗等の出入り口に最適!回転灯の光で車の出庫を歩行者にお知らせ!出庫警告用センサーのご提案です!カタログ無料プレゼント

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【駐車場の所有者さま及び駐車場施工店さまへ】 「駐車場から車で出るときに、歩行者と接触しないか心配だ・・・」 駐車場や店舗、住宅、工場などの車両出入り口の中でも、特に歩道や車路に面している車両出入り口では、歩行者との接触事故や車両同士の衝突事故などの危険なトラブルが予想されます。 そんなご不安を軽減するため、ホトロンは、様々なセンサーで車両の出庫を検知し、回転灯のLED光やブザーで周囲に注意喚起を行なう【出庫警告用センサー】をご提案します。 「センサー」+「コントローラー」+「スイッチング電源(24V) 」+「LED回転灯」のシンプルな機器構成。 ※出庫警告システムをご利用時は別途コントローラーとスイッチング電源(24V)を入れる制御盤が必要です。 ※スイッチング電源(24V)、LED回転灯、制御盤、ブレーカー等は、お手数ですがお客様手配でお願いいたします。 後付け施工もできるため、既存の駐車場出入り口にもお使いいただけます。 皆様のより一層安全な車両通行にお役立てください。 ◎詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

2025年08月22日

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健康管理システム「HM-neo」 健康管理ソリューション市場で大手企業向けシェアNo.1を獲得

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NTTテクノクロス株式会社(本社:東京都港区、代表取締役社長:岡敦子、以下「NTTテクノクロス」)の健康管理システム「HM-neo」は、デロイト トーマツ ミック経済研究所株式会社(本社:東京都千代田区丸の内、代表取締役社長:渡邊茂男)が実施した2024年度の調査*1にて、健康管理ソリューション市場における従業員規模3000名以上の大手企業の売上高シェアが18.4%を占め、シェアNo.1を獲得しました。

2025年08月22日

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