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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

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薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2024」

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実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2024」

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【TCF-C500】超高温小型実験炉 Max2900℃

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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ニュース

HK-2

自動ドアや設備機器の地震対策におすすめ!感震装置HK-2

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世界で地震の多い国の10カ国に入る日本。国土交通白書2020では大きな地震の発生確率の高まりも公表されています。 南海トラフ地震については、マグニチュード8~9クラスの地震の30年以内の発生確率が70~80%とされています。 ホトロンでは、建設物や設備機器への地震対策に感震装置の導入をおすすめしています。 感震装置『HK-2』は、震度5弱相当以上の強い揺れを感知した場合、 事前に設定した様々な制御を自動で行える製品です。 例えば、次のようなアクションを自動で実行できます。 「自動ドア・自動門扉を開いて、退路及び緊急車両の進入路を確保」 「管制室へ信号を伝達し、施設設備を停止」 「施錠されたロッカーの鍵を解錠」 「音声案内の自動再生」 ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

2026年02月13日

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非接触光線タッチセンサー「HA-Tシリーズ」

【カタログ配布中!】省エネ自動ドアセンサー「HA-T401/HA-T520」

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『HA-Tシリーズ』は、人通りが多い道でも狭い通路でも、 入りたい人にだけ開く省エネ自動ドアセンサーです。 手を近付けるだけで自動ドアが開くため、 不特定多数が利用する施設であっても、衛生面の課題をクリア。 用途や設置場所によって「無目取付型/HA-T401」「無目内蔵型/HA-T520」からお選びいただけます。 【こんな場所にオススメ!】 ☑入口が人通りの多い通路に面している ☑ドア付近にカウンターや看板等がある ☑狭い通路に面した建物 ☑美観を重視する建物 ☑衛生面を配慮する病院や施設 ☑多くのドアを構える大型施設 【特徴】 ●4通りの検出スポット設定で様々なドアタイプに適応 ●不要な開閉の削減でムダな電力消費を抑え、省エネ効果に貢献 ●光線タッチ機能搭載で手をかざすだけでドアを開閉できるので衛生的 ●検出範囲の広い無目付赤外線センサーとしても使える ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

2026年02月13日

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SPCC(錆びやすい材質)に対して錆の付着を研究

防錆性能の高度化に向けた研究開発を開始

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株式会社セブンコーポレーションは、天然由来多機能水溶液「SEA'S 7」の機能拡張を目的として、防錆性能に関する研究開発を開始しました。本研究は工業技術研究所との共同研究として推進しています。近年、製造業では環境負荷低減と作業安全性向上を両立する技術が求められており、洗浄後の防錆対策が重要課題となっています。本研究では、金属試験片を用いた腐食評価、重量変化測定、循環水環境での耐久試験などを実施し、防錆メカニズムの解明と性能評価を進めています。将来的には、洗浄・除菌・脱臭に加え、防錆機能を備えた次世代SEA'S 7の開発を目指し、製造工程の効率化と環境負荷低減への貢献を図ります。

2026年02月13日

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垂直アルミステップF式 新発売のお知らせ

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このたび“垂直アルミステップF式”を 新発売いたしますので、お知らせいたします。 “垂直アルミステップF式”は、掘削構内専用アルミ製はしご“垂直アルミステップ”の新タイプです。 垂直アルミステップはアルミ製で軽量なため持ち運びや設置が簡単に行えます。 また、連結式により高さは自由に組み合わせできます。(連結部材0.7m、1.0m、2.0m)  今回新発売するF式は、上記の旧式の特長を引き継ぎながら、更に便利にお使いいただけるようになりました。 <F式の特長> ■固定部のフック調整範囲が広がりました。 20mm~200mmまでの構造物への取付可 ■スタンドパイプの長さ調整が可能。 スタンドパイプが収納できるので運搬や保管が容易になりました。 <発売日> 2026年1月5日 <仕様> ・F式標準セット2.4m ※吊り固定部と連結部、それぞれの単品販売がございます ※旧式(スタンドパイプ固定式)の販売も継続して行います。

2026年02月13日

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意外と知らない?「会計システム」と「文書管理システム」の違い

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今回は、意外と知られていない「会計システム」と「文書管理システム」の役割の違いと、法対応で抜け落ちがちなポイントについて解説します。 ■会計システムと文書管理システムの違いは「守備範囲」 ・会計システム = 「お金(数字)」の管理 ・文書管理システム = 「証憑(証拠)」の管理 ■会計システムでは見落とされがちな書類 会計システムは、あくまで「会計処理」がメイン。 ・お金の動きが発生しない「見積書」 ・取引の中間地点である「納品書」「注文書」 ⇒会計システム上で保存・管理されていないケースもあります。  電子帳簿保存法では不備とみなされる可能性もあります。 ■足りない部分を「独立システム」で補う 見積から請求まで一気通貫で管理できる高機能なERP(統合基幹業務システム)もありますが、価格面などで導入ハードルが高いのが現実です。 そこで、paperlogicのような独立した文書管理システムで管理するという方法もあります。 paperlogicでは無料トライアル実施中。お気軽にお問い合わせください。

2026年02月13日

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