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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

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【TCF-C500】超高温小型実験炉 Max2900℃

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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非接触光線タッチセンサー「HA-T401/HA-T520」

自動ドアの周辺環境による「より狭い範囲で、限定的に開きたい」を実現する、非接触な光線タッチセンサー「HA-Tシリーズ」

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非接触光線タッチセンサー「HA-T401/HA-T520」は検出範囲がコンパクトなので、狭い通路や人通りが多い道に面した自動ドアへの設置に好適な自動ドアセンサーです。 用途や設置場所によって「無目取付型」「無目内蔵型」からお選びいただけます。 【特徴】 ●光線タッチセンサーなら触れずに手を近付けるだけで自動ドアを開閉できるので、衛生面でも安心です。 ●片引き、引き分けなどの設置環境に合わせて、検出範囲の列設定を左・中央・右の4スポットと12スポット設定の全4通りに設定できます。 ●横切りによる自動ドアの無駄な開閉を軽減し、省エネ効果に貢献する2種類の起動列設定が可能です。 ●タッチスイッチと赤外線センサーを一体化し、1機種で光線タッチ⇔赤外線センサーに切替が可能です。 【こんな場所にオススメ!】 ☑入口が人通りの多い通路に面している ☑ドア付近にカウンターや看板等がある ☑狭い通路に面した建物 ☑美観を重視する建物 ☑衛生面を配慮する病院や施設 ☑多くのドアを構える大型施設 ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

2025年09月25日

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HK-2

自動ドアや設備機器の地震対策におすすめ!感震装置HK-2

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世界で地震の多い国の10カ国に入る日本。国土交通白書2020では大きな地震の発生確率の高まりも公表されています。 南海トラフ地震については、マグニチュード8~9クラスの地震の30年以内の発生確率が70~80%とされています。 ホトロンでは、建設物や設備機器への地震対策に感震装置の導入をおすすめしています。 感震装置『HK-2』は、震度5弱相当以上の強い揺れを感知した場合、 事前に設定した様々な制御を自動で行える製品です。 例えば、次のようなアクションを自動で実行できます。 「自動ドア・自動門扉を開いて、退路及び緊急車両の進入路を確保」 「管制室へ信号を伝達し、施設設備を停止」 「施錠されたロッカーの鍵を解錠」 「音声案内の自動再生」 ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

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「人工大理石スタロン、Staron」麻布台ヒルズ ガーデンプラザ 共用部洗面台

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東京都港区麻布台一丁目にある超高層ビルであり、日本一高いビルである「麻布台ヒルズ森JPタワー」。 地上64階、地下5階建てになっており、日本で初めて300mを超える超高層ビルで延床面積 461,395メートル規模。 複合施設「麻布台ヒルズ(Azabudai Hills)」の中核を担うビル。 この度、世界初素材であるZero R(0R)製品が採用され、ガーデンプラザ各フロアのお手洗い洗面台カウンター&ボウルにご採用いただきました。 品番:Infinity IF188(インフィニティ IF18) 建物種別:複合施設、店舗、オフィス、レジデンス、商業施設 場所: 〒105-0001 東京都港区虎ノ門5-8-1 麻布台ヒルズ

2025年09月25日

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香り演出とは?

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お店やオフィス、サロン、フィットネスジム、ナイトクラブなどの雰囲気づくりといえば、内装・照明・音楽が定番ですが、実は"香り"も欠かせない要素となります。 人の感情や記憶に直接働きかける香りは、空間の印象をガラリと変えます。 今回は、香りが空間にもたらすメリットについて2つご紹介させて頂きます。 1、第一印象を決める見えないおもてなし 店舗やオフィスの入口でふわっと漂う香りは、訪れた瞬間の印象を一瞬で高めることができます。 清潔感や高級感、安心感を演出し、リピートや口コミにも繋がります。 2、ブランドイメージを記憶に残す 香り演出は、「この香り=このお店(会社)」という記憶を呼び起こします。視覚や音よりも長く記憶に残る香りは、ブランディングに最適。 香りは、空間演出の最後のひと押しとなる「見えないおもてなし」です。 マジェスタフレグランスでは、業務用アロマディフューザーを使い、さまざまな店舗・オフィスにピッタリの香り演出をご提案しております。 マジェスタフレグランスは関東エリア限定で無料お試し設置も実施中です。 香り演出にご興味がございましたら、お気軽にお問い合わせください

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10月1日(水)から開催『RISCON TOKYO2025』に出展します!

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10月1日(水) 〜 3日(金) 「危機管理産業展(RISCON TOKYO)2025」に出展します!⁡ 当日は、可搬型発電機「ELSONAシリーズ」をはじめ EcoFlowのポータブル電源やタメルラボの大容量ポータブル蓄電池 など 災害時の電源確保に役立つ製品を展示します。 ________________ □医療機関や自治体での導入事例 □被災地での活用事例 □BCP対策としての活用方法 □災害時重要とされる72時間の電力の運用方法 ________________ など現地でご相談いただけます。 ぜひ西1・2ホール 「1X-09」にお立ち寄りください 事前登録が必要です https://www.kikikanri.biz/ 【展示会概要】 危機管理産業展(RISCON TOKYO)2025 開催日:2025年10月1日(水) 〜 3日(金) 時間:10時から17時 会場:東京ビッグサイト 西1・2ホール 弊社ブース:西1・2ホール 「1X-09」 

2025年09月25日

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