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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

  • その他計測器

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【TCF-C500】超高温小型実験炉 Max2900℃

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配水鋼管のリニューアルに最適!

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埋め戻しが不要で床上で施工が完結! 耐火床貫通ベルト「IRYB」を動画でチェック! タイカエックス/タイカX 耐火床貫通ベルト「IRYB」 樹脂ベルトの連結でサイズをフレキシブルに調節! ■施工方法 STEP 1 樹脂ベルトをカバー部材に取り付け接着剤を開口部に塗布 連結でサイズ調整!いびつな円でもOK!リニューアル時は引き抜きとはつりの2工法に対応! STEP 2 樹脂ベルトを連結し、カバー部材同士を貼り付け STEP 3 上部を固定材で縛る

2025年11月10日

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NPO法人 日本ハウスクリーニング協会 40周年祝賀会 参加のご報告

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2025年10月29日 長年お付き合いを頂いております「NPO法人 日本ハウスクリーニング協会」様の40周年祝賀会に、弊社も参加させて頂きました。 記念すべき祝賀会では、展示スペースをご提供いただき、日頃よりご愛顧いただいている皆様へ、色々な弊社製品をご紹介する貴重な機会を頂戴しました。 当日は、弊社の「エコゾアEZ-BIO」「エコゾアEZ-NOTE」を中心に、先般モデルチェンジを致しました「エコゾアクリーンフィールドRM」といった幅広い製品ラインナップを展示。 40周年という節目を迎えられた「NPO法人 日本ハウスクリーニング協会」様の歴史と、その長きに渡り業界を牽引されてきた熱意に感銘を受けました。この素晴らしい節目に立ち会えたことを光栄に感じるとともに、弊社としてもより一層の努力を重ねて参る所存です。 このご縁を大切にし、今後もお客様にご満足いただける製品とサービスを提供できるよう、社員一同、日々精進して参ります。 【弊社では、「NPO法人 日本ハウスクリーニング協会」様が主催するこども食堂「向日葵の家グループ」へ、エコゾア消臭製品の寄贈をしております】

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センサーが車を検知すると、回転灯がまわります

駐車場、店舗等の出入り口に最適!回転灯の光で車の出庫を歩行者にお知らせ!出庫警告用センサーのご提案です!カタログ無料プレゼント

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【駐車場の所有者さま及び駐車場施工店さまへ】 「駐車場から車で出るときに、歩行者と接触しないか心配だ・・・」 駐車場や店舗、住宅、工場などの車両出入り口の中でも、特に歩道や車路に面している車両出入り口では、歩行者との接触事故や車両同士の衝突事故などの危険なトラブルが予想されます。 そんなご不安を軽減するため、ホトロンは、様々なセンサーで車両の出庫を検知し、回転灯のLED光やブザーで周囲に注意喚起を行なう【出庫警告用センサー】をご提案します。 「センサー」+「コントローラー」+「スイッチング電源(24V) 」+「LED回転灯」のシンプルな機器構成。 ※出庫警告システムをご利用時は別途コントローラーとスイッチング電源(24V)を入れる制御盤が必要です。 ※スイッチング電源(24V)、LED回転灯、制御盤、ブレーカー等は、お手数ですがお客様手配でお願いいたします。 後付け施工もできるため、既存の駐車場出入り口にもお使いいただけます。 皆様のより一層安全な車両通行にお役立てください。 ◎詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【新製品】UV-超小型照射器 LSP26FUVシリーズのお知らせ

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【新製品のお知らせ】 UV-超小型照射器 LSP26FUVシリーズ発売 高強度なのにコンパクト、✋手のひらサイズのキューブ型の超小型UV照射器 多様なUV波長をラインアップしており、幅広い用途でご使用いただけます。 手のひらに収まるコンパクトサイズのため、簡易検査や研究実験など、ちょっとした作業にとてもに便利です。 ※製品の特長や仕様の詳細製品ページは只今準備中です。近日中に公開予定でございます。今しばらくお待ちください。 詳しくはお気軽にお問合せ下さい。

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日本軽金属株式会社 高機能素材Week「接着・接合EXPO」に出展

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日本軽金属株式会社 高機能素材Week「接着・接合EXPO」に出展 ~アルミと樹脂の接合ソリューションをご提案~ 同展は、最先端の素材技術で構成される展示会「高機能素材 Week」の一つであり、 接着剤・接合機・締結技術などが一堂に出展する日本最大級の接着・接合の総合展です。 日本軽金属グループでは、アルミと樹脂の接合ソリューション PAL-fitを中心に、開発中の機能性表面処理の数々を展示いたします。 ぜひこの機会にご覧いただきたく、皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。 https://www.nikkeikinholdings.co.jp/news/news/p2025110501hd.html 会 期 2025年11月12日(水)~14日(金) 10:00~18:00 ※最終日のみ17:00終了 会 場 幕張メッセホール7(千葉県千葉市) 当社ブース:第7ホール42-26

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