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小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク140mm、対象サイズ4inchに対応する小型ナノインコーターです。卓上型で省スペースながら高精度な制御を実現し、均一で再現性の高い離型剤塗布を可能とします。研究開発や少量生産に適した設計で、安定した薄膜形成を支援します。
φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター
本装置は、φ200mmのナノインモールドを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク400mm、φ200mm基板に対応したモデルです。大きめサイズの基板でも均一な離型剤塗布を可能とし、試作から応用研究まで幅広く対応します。安定した昇降機構により高い再現性を確保し、効率的な実験を支援します。
金属板対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)。600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル
本装置は、最大600mm角の金属板への専用処理液の製膜ディップコーティングを目的とした、高温乾燥/DIP/焼成乾燥/洗浄/送風乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。 600mm角基板に対応。大型基板でも均一で再現性の高い膜形成を実現します。堅牢な設計と精密制御により、大面積試料の研究開発から小ロット生産まで幅広く対応します。
離型剤塗布装置(ナノインコーター)の最新版。厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター
本装置は、複数のガラス製ナノインモールドを同時に離型剤塗布、リンス等を行える装置です。2槽の循環機構付きタンクがあり、自動運転でさまざまな工程パターンでの制御を可能としました。 ストローク138mm、対象サイズW70×H70mm t1.5までに対応する小型装置です。立方体や特殊小型試料に最適化された設計で、均一な離型剤塗布を可能にします。卓上型で省スペースかつ高精度を実現。
φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク250mm、対象サイズ6〜8インチに対応するモデルです。中型基板を均一にコーティング可能で、小ロット生産や試作工程に活用できます。高品質な膜形成を実現し、再現性の高い処理が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置)。不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型
本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。ナノインコーターはSDIの商標です。 詳しくはお問い合わせ下さい。 ストローク250mm、152mm×152mm基板に対応するモデルで、ガス置換BOXを一体化。酸化や湿度の影響を抑え、安定した離型剤塗布を可能にします。研究用途から精密部材試作まで、高信頼性が求められる場面に最適です。
ロール材に離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ロール表面に離型剤を定着させる塗布装置
全長700mm、重量7kgまでのロール材に対応。連続処理による均一な離型剤塗布を可能とし、生産性と精度を両立します。研究から小ロット生産まで幅広い用途に対応する装置です。
最大W1500×H1200×t10mmまでの石英ガラスに対応
本装置は、2槽式(離型剤塗布とリンス)離型剤塗布装置です。それぞれに循環機能があり、最大45kg/枚の大サイズ石英ガラスの離型剤塗布を行うことができます。 W1500×H1200mm、t10までの試料に対応。大型基板や構造体に対して均一な離型剤塗布を可能にする装置です。堅牢設計と高精度制御を兼ね備えています。
