ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置)。不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型
本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。ナノインコーターはSDIの商標です。 詳しくはお問い合わせ下さい。 ストローク250mm、152mm×152mm基板に対応するモデルで、ガス置換BOXを一体化。酸化や湿度の影響を抑え、安定した離型剤塗布を可能にします。研究用途から精密部材試作まで、高信頼性が求められる場面に最適です。
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基本情報
【特徴】 ○窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との 一体型装置 ○最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、 リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を 定着させる装置 ○処理は1ワークずつ処理 ○SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映した ディップコーター型装置 ○ナノインコーターはSDI社の離型剤塗布装置の商標 【仕様】 ○ストローク:250mm ○対象サイズ:152mm×152mm ○対象材質:石英ガラス ○ディップ速度:0.1mm/secから20mm/sec ○塗布液循環部:有 ○塗布液温度管理:無 ○フィルターメッシュ:0.5μm ○乾燥部:無 ○乾燥温度:無 ○ヘパユニット:有 ○装置サイズ(概寸):W:800×D:700×H:871mm ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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用途/実績例
【用途】 ○離型処理装置として、最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、 離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に 離型剤を定着させる 酸化を嫌う有機材料や高機能フィルム、半導体試料のコーティングに利用。研究機関や企業で高精度試験に導入実績があります。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
ラインアップ(18)
型番 | 概要 |
---|---|
NIC-1106 | 小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル |
NIC-1103 | 6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター |
NIC-0809 | φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター |
NIC-1109G | 不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型 |
NIC-1208 | 600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル |
NIC-1410-S1 | 厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター |
NIC-1308 | ロール材に対応、連続コーティング可能な専用ナノインコーター |
DT-1104 | ディスク媒体に均一な塗布を実現する専用装置 |
MD-1501-S1 | 循環機構搭載で液安定性を高めた高耐薬品性ディップコート装置 |
SA-1109 | 超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能 |
SA-1202 | 温水乾燥を組み合わせた効率的な洗浄・乾燥一体型装置 |
NIC-1510 | タンク入替と洗浄を両立、多用途に対応する高機能モデル |
MD-1802 | 8槽構成で多層膜形成や連続処理を可能にする高効率モデル |
LD-1811 | 窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型 |
NIC-2003 | 最大1.3mストローク対応、大型基板処理に最適なモデル |
DT-1812 | 連続工程処理に最適、8槽式で多品種試作に柔軟対応 |
DT-2002 | 円筒形材料に特化、φ20〜60mm対応の専用ディップコーター |
NIC-2409 | Φ200〜700mmスリーブ対応、大型円筒材料用ナノインコーター |
カタログ(71)
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