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小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク140mm、対象サイズ4inchに対応する小型ナノインコーターです。卓上型で省スペースながら高精度な制御を実現し、均一で再現性の高い離型剤塗布を可能とします。研究開発や少量生産に適した設計で、安定した薄膜形成を支援します。
φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター
本装置は、φ200mmのナノインモールドを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク400mm、φ200mm基板に対応したモデルです。大きめサイズの基板でも均一な離型剤塗布を可能とし、試作から応用研究まで幅広く対応します。安定した昇降機構により高い再現性を確保し、効率的な実験を支援します。
金属板対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)。600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル
本装置は、最大600mm角の金属板への専用処理液の製膜ディップコーティングを目的とした、高温乾燥/DIP/焼成乾燥/洗浄/送風乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。 600mm角基板に対応。大型基板でも均一で再現性の高い膜形成を実現します。堅牢な設計と精密制御により、大面積試料の研究開発から小ロット生産まで幅広く対応します。
離型剤塗布装置(ナノインコーター)の最新版。厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター
本装置は、複数のガラス製ナノインモールドを同時に離型剤塗布、リンス等を行える装置です。2槽の循環機構付きタンクがあり、自動運転でさまざまな工程パターンでの制御を可能としました。 ストローク138mm、対象サイズW70×H70mm t1.5までに対応する小型装置です。立方体や特殊小型試料に最適化された設計で、均一な離型剤塗布を可能にします。卓上型で省スペースかつ高精度を実現。
φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク250mm、対象サイズ6〜8インチに対応するモデルです。中型基板を均一にコーティング可能で、小ロット生産や試作工程に活用できます。高品質な膜形成を実現し、再現性の高い処理が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
