6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク250mm、対象サイズ6〜8インチに対応するモデルです。中型基板を均一にコーティング可能で、小ロット生産や試作工程に活用できます。高品質な膜形成を実現し、再現性の高い処理が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【主仕様】 1.ストローク250mm 2.対象サイズ6inch、8inch 3.対象材質ウエハー 4.ディップ速度0.1mm/secから10mm/sec 5.塗布液循環部有 6.塗布液温度管理無 7.フィルターメッシュ0.05μm 8.乾燥部無 9.乾燥温度無 10.ヘパユニット有 11.装置サイズ(概寸)W:904×D:840×H:1070mm
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる。 電子部材や光学デバイス基板、半導体工程での小規模生産や試作に利用されています。研究用途では新素材評価や離型剤塗布試験に導入実績があります。
ラインアップ（18）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| NIC-1106 | 小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル |
| NIC-1103 | 6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター |
| NIC-0809 | φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター |
| NIC-1109G | 不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型 |
| NIC-1208 | 600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル |
| NIC-1410-S1 | 厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター |
| NIC-1308 | ロール材に対応、連続コーティング可能な専用ナノインコーター |
| DT-1104 | ディスク媒体に均一な塗布を実現する専用装置 |
| MD-1501-S1 | 循環機構搭載で液安定性を高めた高耐薬品性ディップコート装置 |
| SA-1109 | 超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能 |
| SA-1202 | 温水乾燥を組み合わせた効率的な洗浄・乾燥一体型装置 |
| NIC-1510 | タンク入替と洗浄を両立、多用途に対応する高機能モデル |
| MD-1802 | 8槽構成で多層膜形成や連続処理を可能にする高効率モデル |
| LD-1811 | 窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型 |
| NIC-2003 | 最大1.3mストローク対応、大型基板処理に最適なモデル |
| DT-1812 | 連続工程処理に最適、8槽式で多品種試作に柔軟対応 |
| DT-2002 | 円筒形材料に特化、φ20〜60mm対応の専用ディップコーター |
| NIC-2409 | Φ200〜700mmスリーブ対応、大型円筒材料用ナノインコーター |
カタログ（71）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!