大サイズ用ナノインコーター(離型剤塗布装置):NIC-2003
最大W1500×H1200×t10mmまでの石英ガラスに対応
本装置は、2槽式(離型剤塗布とリンス)離型剤塗布装置です。それぞれに循環機能があり、最大45kg/枚の大サイズ石英ガラスの離型剤塗布を行うことができます。 W1500×H1200mm、t10までの試料に対応。大型基板や構造体に対して均一な離型剤塗布を可能にする装置です。堅牢設計と高精度制御を兼ね備えています。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
