アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価で、 ファインセラミックスの代名詞的な材質です。
アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。 アルミナ板のネット販売もしております。（http://www.asuzac-ceramics.jp/shop/shopenter.htm） アルミナは、半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。 アルミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャンバー内での絶縁部品として、搬送アームは金属や樹脂と比べて曲げ強度があることから反りが発生しにくいためアーム自体を薄くできます。 こんな使い方はいかがでしょうか→ 大型アルミナ（3m以上の製品も可）や空洞セラミックス化（接着剤無しでのトンネル形状）が可能なので、半導体Φ450ウエハ製造装置や液晶G10ガラス基板製造装置などでの大型セラミックスも対応できます。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
アルミナ(Al2O3)の中でもアスザックは、通常で4グレード【AR-99.6、ARW、ARK、AR-4N】、特殊アルミナで1グレード【AR(B)】を取りそろえております。 以下にそれぞれの特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。 ◆AR-99.6は、ファインセラミックスの中でも機械的、熱的、電気的、磁気的、化学的に様々な優れた特性をもつアルミナです。 その中でも最も汎用的なアルミナ純度99.6％以上のグレードです。 ◆ARW / ARKは、ドクターブレード法という成型法で作られる薄型のアルミナです。色は白色で、アルミナ基板、ダミーウエハーなどに実績があります。 ARWは純度99.6％で、ARKは純度96％です。 厚みは1～2ｔ程度の薄型製品を安価にお作りすることができるグレードです。 ◆AR-4Nは、原料となるボーキサイトに含まれるアルカリ金属を少なくし、重金属の少なくしたグレードです。 ◆AR(B) ブラックアルミナは、アルミナの機械的特性を保有しつつ低反射率を持った素材です。ファインセラミックスの強度、 耐久性を維持しながら表面反射を抑える事ができます。
価格情報
-
納期
用途／実績例
半導体装置パーツ 液晶装置用パーツ 炉材 ロボット搬送アーム
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では、 ●トップクラスの大型アルミナ板品を製造できます ◇全長３ｍ超えるアルミナ板品を素材販売から希望形状の加工まで対応可能です！ ●トップレベルの加工技術で、炭化ケイ素（SiC）を短納期で製作致します ◇高純度品も取り揃え、量産が可能です。特に板形状は得意としております！ ●小ロットでも、単品でも対応させて頂きます ◇VE、VA提案もさせて頂きます！ ファインセラミックス（アルミナ、炭化ケイ素SiC、ジルコニア、低熱伝導セラミックアルシーマ、ブラックアルミナ、多孔質アルミナ等各種セラミックス）の開発・製造・加工・販売を行っております。 企業HPはこちらをご覧下さい（http://www.asuzac-ceramics.jp/）