特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。
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基本情報
デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーになっておりゼロ、スパンの調整が容易に行えます。 わずかなダイヤフラムの変化の静電容量を検出し独自のチャージバランス原理を使用したカスタムＩＣにより高精度のリニアな直流電気信号に変換します。 電気接続は１．８ｍ多芯ケーブル又は４ピン差込コネクタが用意されています。
価格情報
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納期
用途／実績例
用途・特徴 ○特殊ガス、高純度ガス供給システム ○ガスキャビネット ○エキシマレーザ供給設備 ○半導体プロセス ○圧力モードはゲージ圧、連成圧、絶対圧の３種類 ○ローコストで高精度 ○ＣＥマーク対応
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企業情報
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社ST事業部は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体（マスフロー）どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。
