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マクミラン テフロン製 液体用流量センサ 106F

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モデル 106F

最終更新日:2012年11月22日

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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モデル106Fは低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。

モデル106Fは低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は1.8mのケーブルが付属し電源や出力は用途により選択できます。

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マクミラン テフロン製 液体用流量センサ 106F

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基本情報

モデル106Fは低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は1.8mのケーブルが付属し電源や出力は用途により選択できます。

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用途/実績例

接液部材質 テフロン カルレッツ サファイヤに適合する液体。 ○フッ酸やその他、酸ラインの測定 ○CMPスラリーラインの測定 ○純水の測定 ○現像液の測定 ○ほとんど全ての低粘度液体の測定 など

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マクミラン テフロン製 液体用流量センサ 106F

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社ST事業部は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもBD社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体(マスフロー)どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。

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