温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能！5～40％RHの低湿度仕様のご要望にも対応
『サーマルクリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス4（クラス10）の クリーンルーム内部機器です。 PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、 温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能。 また、湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様の ご要望にもお応えします。 【特長】 ■清浄度はISOクラス4（クラス10） ■±0.1℃～±0.005℃の温度コントロールが可能 ■内蔵装置に合わせた設計が可能 ■複数の保護回路により安全性を考慮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【種類】 ■Cタイプ（エンクロージャー型） ■Bタイプ（開放型） ■Sタイプ（分離型） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造：ステッパー（縮小投影露光装置）、アライナー、電子ビーム描画装置 ■表示パネル製造：液晶パネル、プラズマディスプレイ、有機EL ■精密加工：鏡面研磨機、レーザー加工機、磁気ヘッド切削機 等 ■精密測定器：精密測長機、2次元・3次元測長機 ■バイオロジカリー：精密顕微鏡、温湿度変化を嫌う試料の取扱い 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
日本で唯一のクリーンエアーシステム専門メーカーとして、 総合的な製品群と専門性の高い技術力を強みに、クリーン関連製品をグローバルに提供しています。 ■長年の技術を基盤にした確かな技術力と国内２年保証 ■グローバルな対応もお任せください！ ■幅広い業種とご要望に対応する豊富な製品群があります