昨今の製造ニーズにお応え!低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、 またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。 リアルタイムでの薬液濃度監視によって、オペレータおよび技術者による 化学物質の使用量を低減。 製造条件からの逸脱頻度を抑えることを可能にします。 【特長】 ■分析計の専門的な知識が無くても使用可能 ■24時間365日稼働し、分析計上のモニタにデータを表示 ■運転中に試薬を必要としないため、ランニングコストの大幅な削減に貢献 ■チューブの変更不要でコンタミネーションのリスクを回避 ■分析計の電子構成ファイルをメールからアップロードすることで、 追加の薬液バスの監視が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他特長】 ■2つのサンプルポイントで複数のバス中の化学物質濃度を同時監視 ■分析計は所定の位置に固定され、内部コンポーネントに簡単にアクセス可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ABBは、エレクトリフィケーションとオートメーションのテクノロジーリーダーであり、より持続可能で資源効率の高い未来の実現を目指しています。ABBのソリューションは、エンジニアリングのノウハウとソフトウェアを結び付け、製造、移動、電力供給、それらの運用の方法を最適化します。140年以上にわたる卓越性を基盤に、ABBの約105,000人の従業員は、産業変革を加速するイノベーションの推進に取り組んでいます。 ABBジャパン:ABB株式会社、ABB日本ベーレー株式会社、B&R株式会社の3社から成る企業グループです。