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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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最終更新日:2023年12月07日

ウシオ電機株式会社
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大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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基本情報

【その他の特長】 ■深さコントロール(パルス制御) ・ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、  ランプ電流、パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ・複数パルスの照射も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

【用途】 ■焼成 ■剥離 ■表面改質 ■酸化膜形成 ■結晶化 ■接着 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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SEMICON Japan 2024へ出展いたします

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弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。

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加熱、硬化、洗浄、改質、表面処理、接着、露光、照明、治療、計測、測定・・・「光」のことなら、ウシオにお任せください。光源からユニット、光の装置まで、独自の光技術で、お客さまの目的や用途に応じた最適な「光」をご提案いたします(共同実験、共同研究、デモ機・実験機のお貸し出しも承ります)。

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