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  3. ウシオ電機株式会社
  4. SEMICON Japan 2024へ出展いたします
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2024/08/24

SEMICON Japan 2024へ出展いたします

ウシオ電機株式会社 ウシオ電機株式会社
弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。
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第三の光加熱源!LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、高照射が可能!

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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直接加熱が可能!直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適!気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮!ラインヒータユニット

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能!ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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500℃を超える高温域!高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など!特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N(コンパクト型・金メッキミラー仕様)をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄  液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される  純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた  ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく  加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として  照射されるため、温風タイプとは異なり  周囲環境に左右されにくく  短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い  その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし  ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して  極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし  不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける  金属膜、絶縁膜の形成に用いられる  CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを  用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適!サークルヒータユニット

3次元反射光シミュレーションを経て設計!優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様(抜粋)】 ■定格電圧:200V ■消費電力:36kW ■ユニット外径:470mm ■ユニット奥行:235.5mm ■重量:30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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【経営層・総務部門の方へぜひご紹介ください】勤怠管理システム導入事例更新!営業担当者の手厚いサポートで、規定に合わせた設定変更も安心です

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株式会社ジィ・シィ企画様へ、勤怠管理システム「KING OF TIME」を 導入した事例について記事が公開されました。 ~ジィ・シィ企画様の場合~ 以前の勤怠管理システムでは、法令に対応した勤怠のチェックが しにくい点が課題となっていました。 トップクラスの導入実績と、代理店であるiビジネスパートナーズ独自の サポート体制が決め手となり導入。導入・運用にあたっては、難しいと 感じる場面もありましたが、その都度iBPの営業担当者に相談しながら 一つひとつ解決していきました。 【事例概要】 ■導入前の課題 ・以前の勤怠管理システムでは、法令に対応した勤怠のチェックがしにくかった ■導入のポイント ・トップクラスの導入実績と、代理店であるiビジネスパートナーズ  独自のサポート体制 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

2026年06月30日

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株式会社シック・ホールディングス様における、TwooCa導入事例インタビューを公開しました!

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利用率70%※を達成。ハイブリッド勤務でも“自然な交流”を。 ハイブリッド勤務の定着により、多くの企業で課題となっている社内コミュニケーション。 シック様では、TwooCaを活用した「社内ごはん会」やサンクスメッセージを通じて、部署を超えた自然な交流づくりに取り組まれています。 導入事例はこちら https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000125.000076589.html 約49名の社員のうち約70%がTwooCaを利用(※株式会社シック・ホールディングス調べ)。 「TwooCaがあるからごはんに行こう」 そんな自然なきっかけが生まれ、社員同士の交流や感謝の見える化にもつながっています。 インタビューでは、導入の背景や取り組みをはじめ、社内コミュニケーションに生まれた変化について詳しくご紹介しています。 社内コミュニケーションや福利厚生施策に課題を感じている企業様は、ぜひご覧ください。 #TwooCa #福利厚生 #社内コミュニケーション #ハイブリッド勤務 #人的資本経営 #エンゲージメント

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【電子天びんの無線化】iPadで計量データを取得する方法を紹介

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研究開発や品質管理の現場では、電子天びんの測定値を記録表やシステムへ入力する作業が発生します。 また、粉体や薬品を扱う環境では、ドラフトチャンバーやクリーンブース内で計量を行うため、PCを設置しにくいケースも少なくありません。 当社ブログでは、電子天びんの測定データをBluetooth経由でiPadへ送信し、表県債ソフトやWebアプリへ直接入力する構成例をご紹介しています。 ・電子天びんのデータを無線で取得したい ・iPadを活用したデータ収集システムを構築したい ・研究・分析業務の入力作業を効率化したい といった方に向けて、使用機器やシステム構成、実際の動作イメージを解説しています。 電子天びんとタブレット連携の実現方法をお探しの方は、ぜひご覧ください。 ▼詳細はこちらをご覧いただくか、資料のダウンロードをお願いいたします 電子天びんとiPadを連携したデータ収集事例 https://www.ratocsystems.com/special/ipad_tenbin/

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シストランジャパン、エンタープライズAIサーチ「Sinequa」の日本市場展開を本格化

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シストランジャパンは、エンタープライズAIサーチ「Sinequa(シネクア)」の日本市場での展開を本格化します。 Sinequaは、企業内に分散する文書やデータを横断的に検索し、根拠に基づくAI回答を生成できる検索基盤です。 ベクトル検索、キーワード検索、自然言語処理、統計学的手法などを組み合わせ、自社特有の用語や表記ゆれを含む専門文書も高精度に検索します。 ファイルサーバーやSharePointを含む200以上のエンタープライズアプリケーションと連携し、既存のアクセス権限を維持したまま安全に活用可能です。 また、回答の根拠となる資料や該当箇所を確認できる高度なRAG機能により、ハルシネーションのリスク低減と、確かな意思決定を支援します。 オンプレミスやプライベートクラウドにも対応し、規制産業を含む幅広い企業のAI活用を支えます。 今後は、SIerやITソリューションプロバイダーなどとの連携を強化し、業界ごとの導入支援を進めます。

2026年06月30日

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データ統合AI分析プラットフォーム「Argonos」、フランス政府に採用

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シストランジャパンは、データ統合AI分析プラットフォーム「Argonos(アルゴノス)」がフランス国内治安総局(DGSI)に正式採用されたことを発表しました。 Argonosは、文書、画像、映像、音声、業務データなど、製造現場や部門ごとに分散しがちな多様なデータを収集・整理・変換し、分析可能な状態へ統合するプラットフォームです。 製品仕様、品質記録、設備保全履歴、サプライヤー情報、設計・製造データなどを横断的に活用し、情報間の関係性を可視化。高度なデータモデリング、セキュリティ管理、AIエージェント連携により、現場の調査・判断の迅速化や業務プロセスの自動化を支援します。 オンプレミスを含む多様な環境に対応し、機密性の高いデータを自社で管理しながら運用できる点も特長です。経済安全保障やデータ主権への関心が高まる製造業に向け、安全性と透明性を備えたデータ統合・AI分析基盤を提供します。

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