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  3. ウシオ電機株式会社
  4. SEMICON Japan 2024へ出展いたします
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2024/08/24

SEMICON Japan 2024へ出展いたします

ウシオ電機株式会社 ウシオ電機株式会社
弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。
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第三の光加熱源!LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、高照射が可能!

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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直接加熱が可能!直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適!気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮!ラインヒータユニット

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能!ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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500℃を超える高温域!高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など!特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N(コンパクト型・金メッキミラー仕様)をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄  液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される  純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた  ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく  加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として  照射されるため、温風タイプとは異なり  周囲環境に左右されにくく  短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い  その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし  ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して  極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし  不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける  金属膜、絶縁膜の形成に用いられる  CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを  用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適!サークルヒータユニット

3次元反射光シミュレーションを経て設計!優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様(抜粋)】 ■定格電圧:200V ■消費電力:36kW ■ユニット外径:470mm ■ユニット奥行:235.5mm ■重量:30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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給水・空調配管を保護 スッキリ収納する「スリムダクトPD」

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ラッキング感覚で施工でき、紫外線や機械的なダメージなどから露出配管をしっかり保護! 配管用化粧カバー(ビル設備用) スリムダクトPD 樹脂製なので軽くて丈夫! ラッキング工法よりも変形に強い! 市販の配管バンドがそのまま使えて誰でも簡単に施工! 豊富なパーツラインナップで、さまざまな角度や分岐、天吊り配管にも対応します。

2026年10月08日

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展示会出展のご報告

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2026年9月某日 ビルメンテナンス業社様を対象とした展示会に出展いたしました。 当日は、消臭剤・消臭装置など「エコゾアシリーズ」を数々展示し、弊社の製品の魅力をお伝えしました。 【展示製品 一部紹介】 ●クリーンフィールドRM 広範囲にわたって使用できるパワフルなファン付き消臭装置です。広い空間全体をカバーし、強力に消臭しながらアロマの演出もできます。 ●EZ-BIO 湿った場所や、においが気になるものに直接噴霧できる画期的な消臭スプレーです。湿気の多い環境でも根源からニオイを消臭します。 ●EZ-NOTE 洗浄成分と消臭効果を兼ね備えた多機能クリーナーです。頑固なにおいを消臭し、衛生的な環境を維持します。 ●GBブロック(B) グリスト内の油脂分解と悪臭対策を同時に実現する画期的なブロックタイプの製品です。設置するだけで排水設備内の衛生状態を保ち、清掃作業の負担を大幅に軽減します。 ●GBブロック(L) 厨房のシンクからの排水管やグレーチングの油脂分解と悪臭対策を実現する液体タイプの製品です。厨房を使い終わったあとにシンクから流すだけなので、手間がかかりません。

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CCS3製品写真

新製品「車両カウントセンサー CCS3」で大型駐車場の効率的な満空管理を実現

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株式会社ホトロンの新製品「車両カウントセンサー CCS3」が登場! 本製品は、赤外線とレーダーを組み合わせた天井取付型センサーです。 1台で双方向の車両を安定して検知し、渋滞時や車両のすれ違いにも対応、大型駐車場の効率的な満空管理を実現します。 また、車両カウントに加えて出庫警告用途にも活用でき、駐車場の安全で円滑な運営に貢献します。 『特長』 ・赤外線とレーダーの併用により、雨天時の路面変化に対する検知性能を向上 ・防水・防塵性能IP67を備え、塩害地域でも活躍 ・専用アプリ(Android端末)から各種設定が可能。現在の設定がひと目でわかりやすく ・従来品「CCS2」とベース寸法が同一で、既存設備の入れ替えもスムーズ ※詳しくは製品情報、カタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

2026年10月07日

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通気式固体培養装置MiniLab

新製品「通気式固体培養装置MiniLab」を掲載しました

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微生物による通気式固体培養を、コンパクトな卓上装置で実現しました。 少量の原料で試験条件を選別を実現し、開発期間の短縮や試験原料の廃棄低減に貢献します。 ラボでの基礎検討からスケールアップ検証まで、幅広い研究開発をサポートします。 未利用バイオマスが持つ新たな価値を引き出し、新素材の開発、さらには新たな産業の創出を目指すための第一歩に最適な装置です。

2026年10月07日

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【株式会社bサーチのAI活用とは?採用成果を出す最新支援】

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株式会社bサーチでは、AIを単なる業務効率化のツールではなく、社員一人ひとりがより高い価値を生み出すためのパートナーと捉えています。求人データの分析やトレンドキーワードの抽出、求人原稿の作成・改善、スカウト文面の作成、商談内容の整理、社内ナレッジの共有などにAIを活用。一方で、クライアント企業への深い理解に基づく採用戦略の立案や、求職者の心を動かすコミュニケーションなど、人だからこそ生み出せる価値を大切にしています。 また、100種類以上の求人媒体・ツールを取り扱い、AIとデータ分析、専門スタッフによる運用を組み合わせて、採用活動のPDCAを高速化。スカウト・RPOによる採用実務の支援や、BE GOODを通じたAI検索・Google検索を意識した採用ブランディングにも取り組んでいます。 AIの機動力と人の専門性を融合し、応募数だけでなく面接設定率や採用単価などのKPIまで分析。企業ごとの課題に合わせた最適な採用支援を通じて、「採用から成功を作り続ける」ことを目指しています。

2026年10月07日

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