高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな設計！容易に取り付けられアフターメンテナンスも簡単！
『高真空対応ゲートバルブ』は、高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤 フリーのメカニズムで、コンパクトな設計です。低振動、高品質で多種を ラインアップしており、リーズナブルな価格でご提供いたします。 【仕様（抜粋）】 ■リーク量 ・本体（メタルシール）：2.7×10^-11 Pa・m3/sec ・本体（バイトンシール）：2.7×10^-10 Pa・m3/sec ・ゲート部：1・3×10^-9 PA・m3/sec ■使用真空領域：大気圧～2.7×10^-11 Pa・m3/sec ■圧空：5Kgf/cm2 ■取付方向：自由 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他仕様（抜粋）】 ■材質 ・本体：SUS304 ・ゲート：SUS304 ・ボンネット：SUS304 ・シリンダー：A6061 ・ベローズ：SUS304 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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