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【技術資料】真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理

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最終更新日:2022年10月13日

株式会社クォークテクノロジー
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光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可能!

真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当資料では、光表面処理法の効果を原子間力顕微鏡(AFM)を用いて 調べた結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【エキシマランプによる光表面処理法の特色】 ■安価:比較的安価な放電管を使うため、高価なレーザが要らない ■簡便:大気中で処理できるため、面倒な真空排気装置が要らない ■大面積処理が容易:指向性の高いレーザではなく、大面積照射が容易な放電管を用いるため ■高速な処理が可能:光の波長が短く光子エネルギーが高く、光出力も数mW/cm2と高いため ■室温処理が可能:高温焼成が必要なセラミック薄膜形成を、室温程度で行える ■パターニング可能:密着型光マスクを使えば、マイクロメータ単位のパターニングが可能 ■材料を選ばない:光の波長が短く光子エネルギーが高いため、大抵の化学結合を切断可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。

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