数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現 ■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能 ■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms ■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性 ■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 流量係数（Cv値）：0.7 バルブ間の流量変動：±1％ サイクル・ライフにおける流量変動（使用時）：2％ 開状態・閉状態になるまでのレスポンスタイム：<5ms アクチュエーターのレスポンスの一貫性：±1ms アクチュエーターの最高使用温度：150℃ バルブの最高使用温度：200℃ 高さ（MSM）：75.1mm フットプリント（MSM）:38.1mm ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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用途／実績例
超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、50年以上にわたり半導体装置メーカーやツール製造業者をサポートしてきたスウェージロックの原子層蒸着（ALD）用バルブ技術を結集した最新のイノベーションです。この高性能半導体用バルブを使用することで、ツール製造業者や半導体装置メーカーは、現在の生産工程の限界を克服するために必要な流量の一貫性、流量、作動スピート、高温性能を実現することで、製造デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。
企業情報
スウェージロック社は、流体システム・ソリューション（製品、アセンブリー、サービス）の開発および提案を行っています。コンポーネント製品やサービスは、お客さまのビジネスに有益であると共に、ハイリスクな環境下で働く人々に対しても安全性をもたらします。この安全性を重視することは、スウェージロックの責務であると考えています。スウェージロックは、発電、オイル／ガス、化学、バイオ製薬、研究開発、半導体製造やその他多数の業界において使用される流体システムに必須の精密配管部品（チューブ継手、バルブ、レギュレーター、ホースやその他）を製造しています。現在、200ヵ所を超えるスウェージロック指定販売会社のグローバル・ネットワークが、製品を使用するお客さまをサポートしています。