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半導体製造装置向け!アクチュエータ『ボイスコイルモータ』

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最終更新日:2023年07月27日

新電元メカトロニクス株式会社
新電元メカトロニクス株式会社
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位置・圧力制御・高速駆動が必要な半導体装置向け!軽量で高速、高精度なアクチュエータ

新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な半導体装置への組み込みに適しております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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半導体製造装置向け!アクチュエータ『ボイスコイルモータ』

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用途/実績例

■高精度位置決め・高速駆動 ・光学レンズのフォーカシング ・ワイヤーボンダのヘッド駆動 ■微妙な加圧制御 ・ミシン等のテンションコントロール ・リモートコントローラ等のフォースフィードバック ■高応答性 ・加振アクチュエータ ・アクティブ制振 ・カッティングマシンのヘッド駆動

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新電元メカトロニクス株式会社は設立以来長年培ってきた 要素技術・生産体制と経験を活かし、磁気応用製品である ソレノイドの専業メーカーとして躍進しております。 独創性のある技術力と確かな品質で、お客様にとってなくてはならない オンリーワンカンパニーを目指してまいります。

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