紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例をご紹介
協立電機株式会社 技術開発部の『タイミング発生装置』の開発事例を ご紹介いたします。 当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、 高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。 そこで、紫外線発生装置2台へ与えるシグナルパルス発生装置を開発しました。 【事例概要】 ■要求 ・半導体生産設備用の紫外線露光装置２台を同時に、高速高精度に 制御できる基板が欲しい ■開発した装置 ・紫外線発生装置２台へ与えるシグナルパルス発生装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
要求仕様】 ■高速高精度タイミングパルス発生 ■光インタフェース装備 ■2台を微妙なタイミング制御を行いつつ、正確にパルス発生 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
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