独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新しい製品が登場！
『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイドも少ない） ■EBR（Edge Back Rinse）不要で工程数を削減 ■圧倒的な省液性を実現（塗布液使用量はスピンコータの1/3以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能 システム提案も対応いたします。 プロセスフロー例： ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置） 焼成プロセス Option：Cure Oven等との組合せも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■ウエハサイズ：4～18inch（φ450mm） ■粘度：500 ～15,000mPa・s（cps） ■塗布膜厚：50～200μm/Wet ■膜厚精度：±3％以内 ■塗液使用効率：90％以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
1945年の創業以来、中外炉工業はサーモテックのフィールドにおいて、独創技術を生み出す技術立社として邁進してまいりました。開発力・設計力こそが、弊社のコア･コンピタンスです。しかし、市場のエンジニアリング環境が成熟した今後は、技術力だけで他社と明らかな差別化を図るのは困難と判断し、「エンジニアリングと製造技術の融合」を進めてまいりました。具体的には、開発･設計･製作というモノづくりの各機能を一カ所に集めることによって、部門や機能を超えた、ノウハウの共有と錬成や、プロセスの再構築を行うための情報交換を活発化、さらには、国内外の設計･調達･製作拠点の最適化や先進の設計･解析ツールの導入、ISO9001に加えISO14001の認証も取得するなど、ソフト面、ハード面の複合的な改善こそがモノづくり企業としての当社を現水準からさらに押し上げ、最大限に生かす方法と考えています。エネルギーをより効率的に使うサーモテックは、産業界だけでなく一般家庭からも強く求められています。私たちは今後ますます、自らのフィールドにかかる、大きな期待と責任をしっかりと受け止め、中外炉工業ならではの独創技術でお応えしていきたいと考えています。
