現像、洗浄、乾燥まで一貫して処理を行う装置など、多数ラインアップをご紹介します
当社で取り扱っている『パドル現像装置』をご紹介します。 現像工程では、不要なレジストを溶解し、必要なパターン部分のみの レジストを残すことを目的としています。 クラス1000クリーンルーム内で使用できる「パドル現像装置」をはじめ、 「起立搬送型現像装置」や「枚葉・水平搬送型現像装置」等をラインアップ。 現像液濃度、液温度、液補充などを好適な条件で保つことで品質が安定します。 当社では、現像機を設計する上で必要に応じて、薬液供給設備を提案しております。 【ラインアップ】 ■パドル現像装置 ■起立搬送型現像装置 ■枚葉・水平搬送型現像装置 ■ディップ式現像装置 ■ハンガー式現像装置 ■手動現像機 など ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【パドル現像機 特長】 ■ウェハーを真空吸着し高速回転（スピン）させながら、スプレー現像及び純水リンスを行う ■現像、純水洗浄、乾燥まで一貫した処理ができる ■クラス1000クリーンルーム内で使用可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■現像 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
◆ガラスエッチング装置 ◆レジスト塗布 | 現像機 | 金属エッチング | レジスト剥離 | 洗浄装置 ◆電解研磨装置 ▼▼▼当社の強み▼▼▼ ◎ガラスエッチング精度 ワークサイズ1500×1850mmのガラス基板において、処理後の面内板厚精度R10μm以下を達成可能。 ◎薄板搬送機構 金属シート・ガラス基板ともに薄板ワーク搬送において、ダメージ無く搬送するノウハウを複数持ち合わせています。 ◎材料選定 装置の材料選定は安全・環境・品質に関わる重要な作業です。必要に応じて薬液を用いた評価試験を行い、当社で責任をもって選定いたします。 ◎試作処理が可能 当社では水だけでなく、薬液（酸性薬品・アルカリ性薬品・有機溶剤）を用いたサンプル処理が可能です。検証評価後に安心して装置をご購入いただけます。 （※ガラスエッチングに限る）