薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します
『CS-900』は、半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に 対応するため安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の 配管保持構造、コンパクトデザインなど現場ニーズに好適な 高機能化を果たしている非接触型薬液濃度モニタです。 PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造により コンタミリスクが"ゼロ"に。また、センサ取り付け時における配管施工等が 不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。 【特長】 ■光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により 設置レイアウトの自由度が向上 ■完全非接触かつ高安定性を実現 ■薬液（20℃～80℃）のダイレクト・安定測定を実現 ■簡単取り付け、取り外しが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■測定原理：吸収分光法 ■濃度算出手法：温度補償型多変量解析法 ■測定条件 1) 測定周期：約３秒 2) 移動平均：16回 ■配管（静電防止タイプは不可）：PFA配管1インチもしくは3/4インチ ■電源：DC24V ■消費電力（起動時の過渡的電流は除く）：約30W ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
株式会社堀場アドバンスドテクノは、分析計専業メーカーである 株式会社堀場製作所のグループ会社で、環境計測および半導体洗浄分野に おけるセンシングテクノロジーのエキスパートカンパニーです。 水計測のデファクトスタンダードを目指し、快適な環境づくりの エコロジカルリーダーとしての役割を果たして行きますので ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
