多彩な石英ガラス製品を開発・製造！純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立
株式会社SCREEN SPE クォーツは『大型石英加工』を承っております。 半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー、二重管など)や ボート・キャップなど、300mmウエハーに対応する石英加工品を供給。 また、高純度と優れた耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、 直径1,000mmを超える大型ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・ アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなど、 確かな加工技術と品質管理の下、多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。 【特長】 ■先端設備でさまざまなニーズに対応 ・大小のさまざまなチューブ製品に対応するため自動成形旋盤を導入 ・溶融石英よりもはるかに純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立 ■高い技術力と先端の生産設備が生み出す高精度・高耐久の大型チャンバー ・角型または大口径チューブなど、従来は加工が困難だった石英製の 大型容器(BIG CHAMBER)の製造を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【主要製品】 ■炉芯管(反応管・二重管・アウター・インナー) ■ボート ■キャップ・保温筒 ■ベルジャー ■チャンバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社SCREEN SPE クォーツは、石英ガラス製品の加工事業やスライス事業を行っている会社です。創業事業の半導体洗浄装置向け処理槽をはじめ、近年目覚ましい成長を遂げた液晶分野のフォトマスク用材料、そして、大きな可能性を秘めた太陽電池・医療・バイオテクノロジーに至るまで、当社ならではの技術から生み出される石英ガラス製品は、進化する時代をリードし続けます。
