コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。
ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。 ■3～8インチに対応。 ■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。 ■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。 ■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【共通仕様】 ■ 卓上ホットプレート ＜標準250℃モデル＞ 対応温度範囲 ～250°C ワークサイズ 3～8インチ 寸法 幅300×奥行350×高さ300 mm タイマー制御ピンアップによる上・下の2段 マイカヒーター・AC 100 V 600 W 丸型φ216 mm ＜高温350℃モデル＞ 対応温度範囲 ～350°C ワークサイズ 3～8インチ 寸法 幅320×奥行361×高さ334 mm タイマー制御ピンアップによる上・下の2段 マイカヒーター・AC 100 V 600 W 丸型φ216 mm ■ 卓上クールプレート 空冷・水冷に対応 ※この温度で対応 ワークサイズ 3～8インチ 寸法 幅300×奥行350×高さ300 mm タイマー制御ピンアップによる上・下の2段 丸型φ220 mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ 半導体工場のプロセス開発 ■ 半導体材料メーカの材料開発 ■ 半導体工場の極小ロット生産 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社SCREEN SPE サービスは、 株式会社SCREENホールディングスのグループ会社として2003年に設立。 半導体製造装置のセットアップ・メンテナンス・改造サービスから、 オリジナル周辺機器の開発・販売に至る幅広い技術サービスをご提供する プロフェッショナル技術集団です。私たちのポリシーは「顧客第一」。 先進の技術力とノウハウを通じて、お客さまの生産ラインの安定稼働に貢献します。
