窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型
本装置は、40mm角の塗布物を10枚同時にディップする装置です。コート液表層部及び装置内にN2もしくはO2のパージ機構を有し、速度制御方法は通常ディップとリニアそれぞれのモードり切替可能です。またレシピ数は合計100、クリーンルーム、安全増し防爆対応装置となります。 ストローク100mm、W40×H40mm t4.0対応。窒素パージ機構を備えたリニアディップコーターで、酸化や湿度の影響を受けやすい試料を安定して処理可能。研究から試作まで幅広く活用されます。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク: 100mm 2.対象サイズ: W:40×H40mm t4.0 3.対象材質: アクリル・ガラス・金属 4.ディップ速度: 0.01~60mm/sec 5.塗布液循環部: 有 6.塗布液温度管理: 無 7.フィルターメッシュ: 有 8.乾燥部: 無 9.乾燥部温度: 無 10.ヘパユニット: 無 11.装置サイズ 本体:W840×D:890×H1232mm 12.制御BOX: 700×D:400×H495mm
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※お気軽にお問い合せ下さい。
用途/実績例
小サイズの塗布対象物に対して ・ハードコート ・離型剤 ・レジスト ・撥水剤 ・AR剤 等の薄膜塗布 有機デバイス、酸化に敏感な新素材の研究や試作に導入されています。
ラインアップ(18)
型番 | 概要 |
---|---|
NIC-1106 | 小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル |
NIC-1103 | 6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター |
NIC-0809 | φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター |
NIC-1109G | 不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型 |
NIC-1208 | 600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル |
NIC-1410-S1 | 厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター |
NIC-1308 | ロール材に対応、連続コーティング可能な専用ナノインコーター |
DT-1104 | ディスク媒体に均一な塗布を実現する専用装置 |
MD-1501-S1 | 循環機構搭載で液安定性を高めた高耐薬品性ディップコート装置 |
SA-1109 | 超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能 |
SA-1202 | 温水乾燥を組み合わせた効率的な洗浄・乾燥一体型装置 |
NIC-1510 | タンク入替と洗浄を両立、多用途に対応する高機能モデル |
MD-1802 | 8槽構成で多層膜形成や連続処理を可能にする高効率モデル |
LD-1811 | 窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型 |
NIC-2003 | 最大1.3mストローク対応、大型基板処理に最適なモデル |
DT-1812 | 連続工程処理に最適、8槽式で多品種試作に柔軟対応 |
DT-2002 | 円筒形材料に特化、φ20〜60mm対応の専用ディップコーター |
NIC-2409 | Φ200〜700mmスリーブ対応、大型円筒材料用ナノインコーター |
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