小形、軽量化を実現!耐食性・気密性に優れた半導体産業用の圧力トランスミッタ
『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、 圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。 SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、 長期安定性、信頼性に優れています。 これまでの圧力トランスミッタに対し、小形、軽量化(当社比)を実現、 EP・GPグレ-ドを標準とし、オプションとしてUCグレ-ドにも対応します。 【特長】 ■小形、軽量化を実現 ■SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接 ■Co-Ni系合金はオプション対応可能(UCグレード) ■IP67の防塵/防水性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■測定流体 ・各種半導体プロセスガス ■継手形状 ・T形、S形 ■接続ネジ ・1/4 VCR対応、1/2 (3/8) VCR対応、1/4 UJR ■内容積 ・約0.9cm3 (S形:1/4 UJRの場合、継手形状により異なる) ■圧力センサシール方法 ・溶接式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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人間の頭脳にあたるコンピュータの進歩は著しいものがありますが、 人の五感にたとえられるセンサの進歩は決してそれに匹敵しているとはいえません。 センサの進歩は、新しい文化を創造し、私達の未来を開く 重要な課題であると長野計器は考えています。 プロセス計装の分野における、圧力・温度・計測機器で多くの実績と 信頼をいただいていますセンサ技術とメカトロニクス技術をさらに ファクトリー・オートメイション、自動車産業・情報・通信分野等へと 駆使し、新たな用途分野に適合する「センサ」「アクチュエータ」 「制御機器」への製品開発に取り組んでいます。