標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■頑丈で信頼性の高いデザイン ■頑丈な設計とMTBF分析、STRIFEなどの試験により長期安定した性能保証 ■接ガス部ステンレス表面仕上、クリーンルーム組立、最小限度の エラストマーシール適用により、要求の厳しいクリーンプロセスで使用可能 ■CEマークRoHS適合 ■品質、顧客満足の2年保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。
