●２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥を行います
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。 【主な仕様】 〇チャンバー ： 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm 〇真空系 ： 到達真空度 1Ｐa以下（サンプル無） ドライポンプ 250L/min 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 〇チャンバー ： 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm 〇真空系 ： 到達真空度 1Ｐa以下（サンプル無） ドライポンプ 250L/min 〇減圧方式 ： 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放 時間モード 設定された時間 減圧したら自動で解放 〇ユーティリティー ：３ΦＡC200：ドライエアー0.4～0.6MPa：真空排気 〇外形寸法 ：（Ｗ）1000×（Ｌ）800ｍｍ×（Ｈ）1600ｍｍ 〇装置重量 ： 約２５０Ｋｇ ＊上記項目は要求仕様により変更可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・有機太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。