従来品と同じ性能でスリム化を実現！空圧アクティブ除振ユニット
アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」は、VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。 独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。 床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。 【特徴】 ○VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能 ○空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能 ○大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能 ○CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラSAC-07） ○ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○制御自由度 ３軸６自由度 ○位置精度 ±10μm ○所要空気源 0.6MPa以上 （クリーンエアー） ○所要電源 AC 100V～240V 100VA（単相） ○制御方式 加速度フィードバック、フロアフィードフォワード ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○半導体製造及び検査装置 ○液晶製造及び検査装置 ○超精密工作機械 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
昭和サイエンスは、1974年に将来の超精密機器が設置環境から受ける振動障害を取り除く「除振」という技術とその技術を駆使した除振システムを提供していこうと産声を上げた企業です。創立後、国内外における半導体産業の成長に併走しながら様々なお客さまや市場のニーズに支えられ活動を展開してまいりました。現在では、除振システム事業、建築防振工事事業、建築設備防振事業、船舶制振工事事業、検査装置事業、光学・精密機器事業へと幅を広げて参りました。除振台、防振台、空気ばね、防音ボックスのことなら昭和サイエンスにお任せください。
