薬液中の0.03μm粒子を測定 フッ化水素酸対応 インライン・バッチ対応
●最小可測粒径 0.03 μm 薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014 年2 月当社調べ) ●任意に粒径区分を設定可能 ●0.03 ～ 0.13 μm の範囲で10 段階 ●サファイアセル使用
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基本情報
光学方式：側方散乱方式 光源：半導体レーザ励起固体レーザ 粒径区分：0.03 μm～0.13 μm 定格流量 10 mL/min 計数効率 5 % ±1.5 % 最大粒子個数濃度 40 000個/mL（計数損失10 ％以内）
価格帯
納期
用途／実績例
最先端半導体製造工場の薬液供給プラントの送り Wet洗浄ラインの薬液管理 薬液製造メーカーの製造ライン・出荷検査ライン 等
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。