半導体製造プロセス用として小型セル型発信器を特長とした多成分用濃度形。 測定濃度安定性を重視したコンセプトモデルです。
メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-53のメリットはそのままに、半導体製造プロセス用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。 また測定濃度安定性を重視したコンセプトモデルです。 本器は単成分濃度計の音速・温度測定に加え、他の物理量（導電率）の特性も同時に計測する事により、内臓データロムに記録した検量線から3成分中の2成分濃度を演算し、出力します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○リアルタイムに3成分中の2成分濃度計側が可能 ○アナログDC4～20ｍA（2系統）及びデジタルRS232Cを標準装備 ○計測エラー出力・警報出力を標準装備 ○自己診断機能・エラーメッセージ表示を標準装備 ○小型・軽量セル型発信器はラインにダイレクト設置が可能 ○PFAを採用した接液部材質、小出力設計で薬液への影響が無い ○高精度での連続計測が可能 ○定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー ○設置時の各種調整等が不要で設置も容易 ○リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格帯
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用途／実績例
【用途】 ○CMP工程におけるCMPスラリー及び酸化剤濃度管理など ○洗浄工程における洗浄液濃度管理など（HF+HNO3・HF+H2SiF6など） ○エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など（TMAH+レジスト・TMAH+Siなど） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
当社は、1976年の創業以来、超音波応用技術に特化した製品を開発し、世に送り出してまいりました。 超音波と言っても、皆様には馴染みが薄いかもしれませんが、まだまだ未知の部分が多く、その応用範囲は無限であると考えております。 当社では、「超音波技術を介し、価値を創造し、その価値をお客様と共有する」を企業理念に掲げ、付加価値の高い商品をタイムリーにお客様へお届けし、満足と喜びに貢献する所存でございます。 今後ともご愛顧の程を宜しくお願い申し上げます。
