多孔質セラミックスとは、たくさんの気孔（ポーラス）があるセラミックスのことです。
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では多孔質セラミックスを手がけ始め、材質として、多孔質アルミナ・多孔質SiCの2種類を取り揃えております。 現在 数種類のラインナップがあり、用途別に皆様のご要望にお応えしています。 独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。 多孔質セラミックスは、薄いウエハ・薄いフィルムなどの吸着治具として使用されています。 ガスは通しますが、プラズマは通さない為、プラズマ装置の治具として使われています。 多孔質のセラミックスですので、絶縁性・耐熱性があります。 大きさによりますが、平面平行度5μm程度が可能であり、装置の高精度化が可能になります。 こんな使い方はいかがでしょうか→ 一般的なアルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境（急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用）でのご利用に多孔質SiCを検討下さい。 急冷・急熱が必要な光学レンズ製造型でのご利用はいかがでしょうか。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
多孔質セラミックスの中でも気孔率の違いから、アルミナ素材の【AZP60】、【AZPW40】、【AZPW45】と、SiC素材の【AZPS40】を取りそろえております。用途に応じてお選びください。 ◆多孔質セラミックスの特徴 ●材質：高純度アルミナ(純度99.6％)、炭化ケイ素（SiC） ●低熱伝導率 ●低誘電率 ●ネジ加工（タップ、ブッシュ、インサート）など複雑形状も製作可能 ●気孔率は調整可能 ◆多孔質セラミックスの用途 製品例：多孔質セラミックスを使ったチャック ●多孔質真空セラミックチャック ●部材の軽量化（比重：アルミより軽い） ●断熱プレート ●吸着板 ●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材 ●低誘電体としてのアプリケーション ◆多孔質セラミックスの種類 弊社では、製造方法の違いから、いくつかの種類の多孔質セラミックをご用意しております。用途に応じて、ご希望のものをお選びください。 気孔部分が多いほど気孔率が上がり、空気を通りやすくします。 気孔率は調整可能ですので、別途ご相談ください。
価格帯
納期
※お問い合せによって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
●多孔質真空セラミックチャック ●部材の軽量化（比重：アルミより軽い） ●断熱プレート ●吸着板 ●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材 ●低誘電体としてのアプリケーション
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では、 ●トップクラスの大型アルミナ板品を製造できます ◇全長３ｍ超えるアルミナ板品を素材販売から希望形状の加工まで対応可能です！ ●トップレベルの加工技術で、炭化ケイ素（SiC）を短納期で製作致します ◇高純度品も取り揃え、量産が可能です。特に板形状は得意としております！ ●小ロットでも、単品でも対応させて頂きます ◇VE、VA提案もさせて頂きます！ ファインセラミックス（アルミナ、炭化ケイ素SiC、ジルコニア、低熱伝導セラミックアルシーマ、ブラックアルミナ、多孔質アルミナ等各種セラミックス）の開発・製造・加工・販売を行っております。 企業HPはこちらをご覧下さい（http://www.asuzac-ceramics.jp/）
