3D形状測定機(VR-6200)による加熱変形観察

凹凸、うねり、面粗さなどの表面形状を非接触で計測できる測定器である
3D形状測定機による「加熱変形観察」についてご紹介いたします。
まず初めに室温状態で3Dテクスチャ像を取得し、次に加熱した状態での
3Dテクスチャ像を取得。
加熱前後のテクスチャ像を重ね合わせ、差分テクスチャ像及び断面プロファイルを
確認すると、室温時に比べ加熱状態の基板では両端が高くなり、中央部が低く
なっていることが分かります。
【特長】
■加熱中の形状変化を可視化し確認することが可能
■温度上昇スピードや待機時間、温度の設定など、ご希望に応じた
プロファイルの作成が可能

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