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  3. 株式会社アイテス
  4. パワーデバイス故障箇所・Slice&View 三次元再構築
製品ニュース
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2024/11/06

パワーデバイス故障箇所・Slice&View 三次元再構築

株式会社アイテス 株式会社アイテス
FIB-SEMのSlice&View機能を用いた、故障箇所の三次元再構築について ご紹介いたします。 構造物の連続SEM画像を取得し、得られた像を三次元構築ソフト(Avizo)で、 SEM画像間のパターンの位置ズレを補正し立体的に可視化。 故障箇所に対して断面出しをする位置特定技術とSlice&View機能を 組み合わせることで不良状態を保持して異常部前後の情報を含めた 連続SEM画像を取得することができます。
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パワーデバイスのトータルソリューションサービス

パワーデバイスをあらゆる角度から徹底評価、検証します

■解決する力  知識と技術でかいけつに導くコンサルティング  スピード対応でお客様スケジュールを支援 ■つきとめる力  故障個所をピンポイントし可視化する技能  深い洞察力と高度かつ繊細な試料加工技術 ■特化した設備  最高180℃での液槽熱衝撃試験  パワー半導体に必須のパワーサイクル試験

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パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・観察を行います。

あらゆるサイズ・形状のダイオード・MOS FET・IGBT等の パワーデバイスに対し最適な前処理を行い 裏面IR-OBIRCH解析や裏面発光解析により不良箇所を特定し観察いたします。 ■解析の前処理-裏面研磨-  各種サンプル形態に対応します。  Siチップサイズ:200um~15mm角 ■不良箇所特定-裏面IR-OBIRCH解析・裏面エミッション解析-  IR-OBIRCH解析:~100mA/10V ~100uA/25V まで対応  エミッション解析:~2kV まで対応  *低抵抗ショート、微小リーク、高電圧耐圧不良など幅広い不良特性に対応 ■リーク箇所のピンポイント断面観察-SEM・TEM-  予測される不良に合わせてSEM観察・TEM観察を選択し  リーク不良箇所をピンポイントで物理観察/元素分析を実施可能

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クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造される エレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法: クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。

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FIB-SEMによる半導体の拡散層観察

他手法より短納期!FIB-SEMによる形状観察と、拡散層観察の両方を実施できます!

当社では、『FIB-SEMによる半導体の拡散層観察』を行っております。 FIB法による断面作製とSEM観察によって半導体の拡散層を可視化、 形状評価を行いました。 SEMのInlens 検出器によって内蔵電位の違いを可視化した事例では 内蔵電位によりN型とP型領域で発生する二次電子のエネルギーに差が発生。 それによって生まれる軌道の差をSEMの検出器で検出します。 【特長】 ■FIB-SEMによる形状観察と、拡散層観察の両方を実施することが可能 ■他手法より短納期で対応 ■濃度は10E16まで検出可能 ■PN界面が可視化されるが、N+/N-,及びP+/P-の濃度差は検出不可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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パワー半導体の解析サービス

故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします!

株式会社アイテスでは、パワー半導体の解析サービスを承っております。 当社は日本IBM野洲事業所の品質保証部門から1993年に分離独立して以来、 独自の分析・解析技術を培ってきました。 Si半導体だけでなく、話題のワイドバンドギャップ半導体も対応可能です。 【特長】 ■OBIRCH解析ではSiだけでなく、SiCやGaNデバイスにも対応 ■表裏どちらからでもFIB加工可能 ■PN接合部に形成された空乏層を可視化 ■EDS、EELS分析といった元素分析も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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FIB-SEM Helios 5 UC 導入のお知らせ

ソフトマテリアルの断面作製も実現!Auto Slice&Viewで3D再構築も可能です!

『FIB-SEM Helios 5 UC』の導入により、11月よりサービス開始予定! 今までより短納期、確実なフィードバックをご提供いたします。 パワーデバイスやIC、太陽電池や受発光素子といった半導体デバイスや MLCCなどの電子部品からソフトマテリアルといった多岐にわたる硬軟材料の 断面観察・分析を高スループットで実現。 最大100nAの質の良いビームにより、大面積を高速加工できるほか、 FIBを低加速で仕上げることによりダメージ層の少ない高品質の試料作製が 可能です。 【Helios 5 UCの主な特長】 ■高速・大面積FIB加工 ■低加速仕上げによるダメージ層低減 ■Cryo-FIB加工 ■3Dイメージング ■TEM試料加工の完全自動化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【新発売】給水・給湯配管を浮かして施工できるサドルが登場

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取付ベースに高さがあるため吹付断熱材を使用時に、木材などの部材が不要で作業が軽減できるワンタッチベースサドル「CSB」 ワンタッチベースサドル「CSB」製品特長 ▶取り付けは差し仕込むだけワンタッチ! ▶サドルは連結部分をまたいで差し込める! 取付ベース「CSB-B」製品特長 ▶取付ベースに高さがあるため浮かして施工ができる。CSB-BHは3段階の高さ調整(50mm、60mm、70mm)ができるため、断熱材の厚みに合わせて施工可能! ▶ベース同士は差し込むだけで簡単に連結できる!

2025年09月30日

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トップウォーターシステムズのオンラインSHOPを開設しました。

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このたび、一部の製品や消耗品、オプション品をネット上でお買い求めいただけるサイトを開設しました。ぜひご利用ください。このサイトで販売できる商品は、これから充実させていく予定です。よろしくお願いいたします。

2025年09月30日

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ビュッフェカウンター

【製作事例】首都圏Fホテル様 ビュッフェカウンター | 木目調 | ホテル・レストラン・宴会場向け

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首都圏Fホテル様 ビュッフェカウンターの製作した事例をご紹介します このビュッフェカウンターは、機能性とデザイン性を両立させた、移動式の多目的カウンターです。 天板には高級感のある人工大理石を施し、外装には落ち着いた木目調のデザインは、どんな空間にも馴染み、料理や商品の魅力を引き立てます。 ホテルやレストラン、パーティー会場など、様々なシーンで活躍します。  ■━━━━━━━━□  ┃ 事 例 概 要 ┃  □━━━━━━━━■ ■製作年:2025年 ■納品地:首都圏 ■資材等:人工大理石      メラミン化粧板      ポリ合板      自在100Φゴム車      コンセント付      扉開閉錠

2025年09月30日

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会議予約案内表示システムInfoLink<インフォリンク>を発売

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会議室予約案内表示システムInfoLink<インフォリンク>の提供を開始します。Microsoft Outlookと連携して、リアルタイムの予約状況を表示し、さまざまなオフィス課題を解決し、リソースの有効活用につなげます。 【特長】 ・予約状況をリアルタイムに表示・更新: 部屋前の端末から、予約・開始・延長・終了の操作を直接行うことが可能です。また、会議開始予定時刻から一定時間経過すると自動キャンセルする機能も有り、会議室の有効活用をサポートします。 ・オフィス環境に合わせて選べる画面デザイン: 画面デザインは3種類の標準デザインから選択できます。また、カスタムデザイン(*)では企業ロゴやブランドカラーを反映し、空間演出をすることができます。 ・会議室予約案内一覧表示: 当日開催される会議の場所や時間を一覧で表示するほか、会議室の位置をマップで案内(*)することも可能です。 ・関連システムとの連携(*): 関連システムと連携することでより多彩な表示を実現します。個室ブース予約案内表示システムとの連携によりフリーアドレスの座席や個室ブースをマップ形式で表示することが可能です。 *はオプション

2025年09月30日

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2025年12月期中間発行者情報をアップロードしました。 https://ssl4.eir-parts.net/doc/222A/ir_material/261065/00.pdf

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