★★テルモセラ・ジャパン_薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」★★

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。
研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。
【nano Benchtopシリーズ】
卓上型・ハイパフォーマンス!nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置
コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】
多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」
● 掲載装置
- nanoPVD-S10A卓上型マグネトロンスパッタリング装置
- nanoPVD-T15A卓上型有機膜・金属膜蒸着装置
- nanoCVDグラフェン合成装置
- ANNEAL卓上型ウエハーアニール装置
- MiniLabシリーズフレキシブル薄膜実験装置
- MiniLab-GBグローブボックス式薄膜実験装置
- 他、コンポーネント類

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関連資料
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モジュール構成によりお客様の要望に柔軟にお応えする【MiniLabシリーズ】、グローブボックスとのシームレスな連結による【MiniLab-GB】で作業の効率が大幅にアップ、高品質グラフェン合成装置【nanoCVD】など、独創的な薄膜装置で研究開発に貢献致します。