Gas Filters - メーカー・企業と製品の一覧

Pulse jet high-temperature gas filter (process filter for manufacturing equipment)

The sintered metal filter media can mainly withstand temperatures up to 500°C. There are also products that can handle higher temperatures depending on the material! (Please contact us for more details.)

We propose filter systems that leverage the characteristics of filter elements and are active in the field of clean energy. In particular, as elements for pulse jet gas filters, they are utilized in hydrogen production, SAF, biomass fuel production, GTL, CTL, and more. 【Features】 The downflow partial back-blow design proposed by Fuji features the most distinctive and efficient structure, ensuring that the gas flow does not intersect during back-blowing. 【Scope of Proposal】 - Proposal, design, and manufacturing of filter elements - Proposal, design, and manufacturing of filter housings and systems

企業：富士フィルター工業本社
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GasPro PTFE Gas Filter TEM-100 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration precision of 0.003 microns.

GasPro filters are specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. They feature an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns even in high flow rate situations with limited space. The filters consist of a cartridge supported by a PTFE membrane and polypropylene, and an electropolished welded housing made of SUS316L. To ensure cleanliness, they are purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro PTFE Gas Filter TEM-200 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration precision of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. It consists of a cartridge supported by a PTFE membrane and polypropylene, and an electropolished welded housing made of SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro PTFE Gas Filter TEM-300 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. It consists of a cartridge supported by a PTFE membrane and polypropylene, and an electropolished welded housing made of SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro PTFE Gas Filter TEM-500 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration precision of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. It consists of a cartridge supported by a PTFE membrane and polypropylene, and an electropolished welded housing made of SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro PTFE Gas Filter TEM-800 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

GasPro filters are specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. They feature an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns even in high flow rate situations with limited space. The filters consist of cartridges supported by a PTFE membrane and polypropylene, and an electropolished welded housing made of SUS316L. To ensure cleanliness, they are purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro High-Temperature Gas Filter TEM-700 Series

High-performance membrane gas filter compatible with a maximum operating temperature of 400℃.

The GasProTEM-700 series is specially designed for reactive gases and halogenated microelectronics gases. It features an all-welded structure with a filter material of 0.01 microns. It is ideal for cases requiring high flow rates and low delta P, as well as for areas with limited space. The main body consists of a welded housing made of fiberglass and electropolished SUS316L, offering filtration performance that is 10 to 20 times higher than similar-sized membrane filters. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. The TEM-700 is intended for high-temperature applications (Max. 400°C) and is available in various connection types for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro All- Fluoropolymer Gas Filter TEM-1300

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filtration, with a filtration precision of 0.003 microns.

GasPro filters are specially designed for semiconductor gas filtration. They feature an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, they are purged with filtered nitrogen before shipping. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro All- Fluoropolymer Gas Filter TEM-1400

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration precision of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for semiconductor gas filtration. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
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GasPro All-Fluoropolymer Gas Filter TEM-1500

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration precision of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for semiconductor gas filtration. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

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GasPro All- Fluoropolymer Gas Filter TEM-1900

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for semiconductor gas filtration. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

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GasPro PTFE Gas Filter TEM-400 Series

High-performance inline gas filter for semiconductor process gases and CDA of all grades, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

GasPro filters are specially designed for filter applications of semiconductor process gases and CDA (Clean Dry Air) of all grades. They feature an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in high flow rate situations with limited space. The filters consist of cartridges supported by PTFE membranes and polypropylene, and a welded housing made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, they are purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

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GasPro All- Fluoropolymer Gas Filter TEM-1100

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for semiconductor gas filtration. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipment. Various connection types are available for easy installation.

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GasPro All- fluoropolymer Gas Filter TEM-1200

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration accuracy of 0.003 microns.

The GasPro filter is specially designed for semiconductor gas filtration. It features an all-welded structure that achieves a filtration precision of 0.003 microns, even in situations where high flow rates are required and space is limited. The media material is PTFE, and the welded housing is made of electropolished SUS316L. To ensure cleanliness, it is purged with filtered nitrogen before shipping. Various connection types are available for easy installation.

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GasPro All- Fluoropolymer Gas Filter TEM-1800

This is a high-performance inline gas filter for semiconductor gas filters, with a filtration precision of 0.003 microns.

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